【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体检测，尤其涉及一种用于验证电子束扫描准确性的方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、半导体相关产品的生产过程中，可以通过对产品进行缺陷检测以发现存在的问题。对半导体进行缺陷检测时，可以通过电子束扫描设备按照设计的电子束扫描方案产生电子束，利用所述电子束扫描待检测的目标，获取目标的扫描图像，利用扫描图像进行缺陷检测。因此，验证电子束的扫描方案设计的准确性，对缺陷检测有着重要作用。
2、目前通常是通过上板编译并且在线debug的方式来验证电子束扫描设计的准确性，当发现问题后，更改逻辑代码、再次上板编译并继续在线debug，以此反复直到设计方案满足设计需求，该方案至少存在如下缺陷：
3、在线debug需要人工调试测试，耗费时间长，导致设计效率较低。
技术实现思路
1、本申请提供一种用于验证电子束扫描准确性的方法、装置、设备及介质，用以至少解决现有技术中电子束扫描设计效率低的技术问题。
2、根据本申请的第一方面，提供一种用于验证电子束扫描准确性的...
【技术保护点】
1.一种用于验证电子束扫描准确性的方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一仿真软件为matlab仿真软件，所述第二仿真软件为modelsim仿真软件。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述对比所述第一仿真结果和所述第二仿真结果，得到对比结果，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一扫描电压波形包括：第一X电极电压波形和第一Y电极电压波形，所述第二扫描电压波形包括：第二X电极电压波形和第二Y电极电压波形；
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种用于验证电子束扫描准确性的方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一仿真软件为matlab仿真软件，所述第二仿真软件为modelsim仿真软件。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述对比所述第一仿真结果和所述第二仿真结果，得到对比结果，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一扫描电压波形包括：第一x电极电压波形和第一y电极电压波形，所述第二扫描电压波形包括：第二x电极电压波形和第二y电极电压波形；
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
6.一种用于验证电子束扫描准确性的装置，其特征在于，所述装置包括：
7.根据权利要求6所...
【专利技术属性】
技术研发人员：高爽，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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