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本申请提供一种用于验证电子束扫描准确性的方法、装置、设备及介质，该方法包括：获取使电子束扫描设备产生电子束的电子束扫描算法；利用第一仿真软件对电子束扫描算法进行仿真，输出第一仿真结果；利用第二仿真软件和第一仿真软件对电子束扫描算法进行联合仿...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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