【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于操作粒子束显微镜的方法。
技术介绍
1、传统粒子束显微镜包括：粒子束源，该粒子束源用于产生粒子束；物镜，该物镜用于将粒子束聚焦在物体上；扫描偏转器，该扫描偏转器用于移位粒子束在物体上的入射位置；以及检测器，该检测器用于检测由粒子束在物体处产生的粒子。通过致动扫描偏转器，可以将粒子束相继引导向物体上的多个入射位置，同时使用检测器针对每个入射位置检测由粒子束在物体处产生的粒子的强度。可以将表示检测强度的值和指配给这些检测强度的表示粒子束的入射位置的值作为表示物体的粒子显微图像的数据记录来存储。
2、必须适当地设置粒子束显微镜，使得由收集的数据记录表示的图像例如在分辨率、图像清晰度、对比度等方面具有期望质量。例如，当由粒子束在物体上曝光的光斑尽可能小时，可以获得高分辨率的粒子束显微图像。进一步地，粒子束在入射在物体上时应具有尽可能小的像散畸变。进一步地，对于不是平面而是三维结构化的物体，希望所产生的粒子束显微图像展现出足够的景深。
3、为了对粒子束显微镜进行期望调整，后者还包括另外的粒子光学元件，例如...
【技术保护点】
1.一种用于操作粒子束显微镜的方法，其中，该粒子束显微镜包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据权利要求1或2所述的方法，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，
5.一种用于操作粒子束显微镜的方法，其中，该粒子束显微镜包括：
6.根据权利要求5所述的方法，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，
8.一种用于操作粒子束显微镜的方法，其中，该粒子束显微镜包括：
9.根据权利要求8所述的方法，
10.根据权利要求8或9所述的方法，
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【技术特征摘要】
1.一种用于操作粒子束显微镜的方法，其中，该粒子束显微镜包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据权利要求1或2所述的方法，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，
5.一种用于操作粒子束显微镜的方法，其中，该粒子束显微镜包括：
6.根据权利要求5所述的方法，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，
8.一种用于操作粒子束显微镜的方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：B·加姆，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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