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对于给定物体方向,一种用于操作粒子束显微镜的方法包括以下措施:将粒子束相继引导到在给定物体方向上定向的物体的长形区域内的多个入射位置,检测粒子并确定表示图像清晰度的量度的值,以及基于该值而改变消像散器的激励,目的是提高图像清晰度。该方法还包...该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。
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对于给定物体方向,一种用于操作粒子束显微镜的方法包括以下措施:将粒子束相继引导到在给定物体方向上定向的物体的长形区域内的多个入射位置,检测粒子并确定表示图像清晰度的量度的值,以及基于该值而改变消像散器的激励,目的是提高图像清晰度。该方法还包...