一种用于精密环保设备陶瓷环制造技术

本技术涉及陶瓷环设备技术领域，且公开了一种用于精密环保设备陶瓷环，包括主体结构，通过将陶瓷稳固环安装入陶瓷基座的安装槽内，当安装入陶瓷稳固环时，固定凹槽内的固定块受到挤压回缩入固定凹槽内，通过转动陶瓷稳固环，使固定凹槽与定位凹槽对齐，复位弹簧给予固定块向外的作用力，使固定块脱离固定凹槽，卡入定位凹槽，使陶瓷稳固环和按压边沿固定在陶瓷基座上，通过陶瓷基座底部的安装适配孔将安装固定环固定在陶瓷稳固环的底部，如此完成陶瓷稳固环的安装，当陶瓷环在使用过程中，按压边沿发生损坏时，通过拆卸陶瓷稳固环来更换按压边沿，避免了陶瓷环的压环按压边沿损坏后，导致整个陶瓷环进行报废，减少了设备替换成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及陶瓷环设备，具体为一种用于精密环保设备陶瓷环。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，陶瓷环是用于固定半导体晶片的固定装夹设备。

2、现有技术的压环按压边沿常通过固定方式与压环基体安装在一起，但是压环按压边沿使用过程中常先于压环基体损坏，导致压环基体未达到使用寿命时便因压环按压边沿损坏而不得不报废，不仅影响设备整体使用寿命，还增加了设备替换的成本；

3、为此，我们提出一种用于精密环保设备陶瓷环，来解决陶瓷环压环按压边沿损坏后，导致整个陶瓷环进行报废，从而增加设备替换成本的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于精密环保设备陶瓷环，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种用于精密环保设备陶瓷环，包括主体结构，所述主体结构包括陶瓷基座，所述陶瓷基座底部开设有安装槽，所述安装槽内部设置有陶瓷稳固环；所述陶瓷稳固环外壁固定连接有按压边沿，所述陶瓷基座底部设置有安装固定环。

3、优选的，所述陶瓷基座底部设置有安装适配孔，所述安装固定环外表面开设有螺纹孔，所述安装适配孔大小形状与螺纹孔相适配。

4、优选的，所述陶瓷稳固环外壁开设有固定凹槽，所述固定凹槽内部设置有固定块。

5、进一步的：固定块顶部为半圆状，半圆状的固定块更方便卡入和脱离定位凹槽，方便陶瓷稳固环的安装和拆卸。

6、优选的，所述固定凹槽内底壁固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的顶部固定连接于固定块底部。

7、优选的，所述陶瓷基座内壁开设有等距的定位凹槽，所述定位凹槽大小形状与固定块相适配。

8、优选的，所述陶瓷基座的外壁环形整列固定连接有安装耳，所述安装耳数量为三个。

9、优选的，所述安装槽内壁贴合设置有橡胶垫座，所述橡胶垫座外表面开设有与定位凹槽大小形状相适配的通孔。

10、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：

11、第一、本技术通过将陶瓷稳固环安装入陶瓷基座的安装槽内，当安装入陶瓷稳固环时，固定凹槽内的固定块受到挤压回缩入固定凹槽内，通过转动陶瓷稳固环，使固定凹槽与定位凹槽对齐，复位弹簧给予固定块向外的作用力，使固定块脱离固定凹槽，卡入定位凹槽，使陶瓷稳固环和按压边沿固定在陶瓷基座上，通过陶瓷基座底部的安装适配孔将安装固定环固定在陶瓷稳固环的底部，如此完成陶瓷稳固环的安装，当陶瓷环在使用过程中，按压边沿发生损坏时，通过拆卸陶瓷稳固环来更换按压边沿，避免了陶瓷环的压环按压边沿损坏后，导致整个陶瓷环进行报废，减少了设备替换成本。

12、第二、本技术通过安装耳使陶瓷环方便固定在设备上，三个安装耳使陶瓷环在设备上更稳固，通过橡胶垫座减少陶瓷稳固环在陶瓷基座内的晃动且减少按压边沿的挤压力，一定程度上减少了按压边沿的损坏。

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【技术保护点】

1.一种用于精密环保设备陶瓷环，包括主体结构(1)，其特征在于：所述主体结构(1)包括陶瓷基座(101)，所述陶瓷基座(101)底部开设有安装槽(102)，所述安装槽(102)内部设置有陶瓷稳固环(103)；所述陶瓷稳固环(103)外壁固定连接有按压边沿(104)，所述陶瓷基座(101)底部设置有安装固定环(105)。

2.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述陶瓷基座(101)底部设置有安装适配孔(106)，所述安装固定环(105)外表面开设有螺纹孔，所述安装适配孔(106)大小形状与螺纹孔相适配。

3.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述陶瓷稳固环(103)外壁开设有固定凹槽(107)，所述固定凹槽(107)内部设置有固定块(108)。

4.根据权利要求3所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述固定凹槽(107)内底壁固定连接有复位弹簧(109)，所述复位弹簧(109)的顶部固定连接于固定块(108)底部。

5.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述陶瓷基座(101)内壁开设有等距的定位凹槽(110)，所述定位凹槽(110)大小形状与固定块(108)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述陶瓷基座(101)的外壁环形整列固定连接有安装耳(111)，所述安装耳(111)数量为三个。

7.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述安装槽(102)内壁贴合设置有橡胶垫座(112)，所述橡胶垫座(112)外表面开设有与定位凹槽(110)大小形状相适配的通孔。

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【技术特征摘要】

1.一种用于精密环保设备陶瓷环，包括主体结构(1)，其特征在于：所述主体结构(1)包括陶瓷基座(101)，所述陶瓷基座(101)底部开设有安装槽(102)，所述安装槽(102)内部设置有陶瓷稳固环(103)；所述陶瓷稳固环(103)外壁固定连接有按压边沿(104)，所述陶瓷基座(101)底部设置有安装固定环(105)。

2.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述陶瓷基座(101)底部设置有安装适配孔(106)，所述安装固定环(105)外表面开设有螺纹孔，所述安装适配孔(106)大小形状与螺纹孔相适配。

3.根据权利要求1所述的一种用于精密环保设备陶瓷环，其特征在于：所述陶瓷稳固环(103)外壁开设有固定凹槽(107)，所述固定凹槽(107)内部设置有固定块(108)。

4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春香，魏江涛，李涛，尚雲飞，
申请(专利权)人：杭州斯启科技有限公司，
类型：新型
国别省市：