一种碳化硅产品自动清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及碳化硅产品生产技术领域，具体为一种碳化硅产品自动清洗装置，包括底板，所述底板的顶部安装有前后排布的第一清洗机构和第二清洗机构以及位于第一清洗机构左侧的输液机构，所述底板的顶部通过立板固定连接有顶板，所述顶板上安装有运输机构，所述第一清洗机构中放置有存放机构。本发明专利技术通过第一清洗机构、第二清洗机构和运输机构的配合使用，运输机构先将装有晶片的存放机构放入到喷淋池中进行第一次喷淋刷洗，然后运输机构再将存放机构放入到浸泡池中进行多方位的浸泡刷洗，之后运输机构再将存放机构放入到喷淋池中进行喷淋冲洗，通过先喷淋刷洗、再浸泡刷洗、最后喷淋冲洗相结合的方式对晶片进行高效清洗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及碳化硅产品生产，具体为一种碳化硅产品自动清洗装置。

技术介绍

1、碳化硅二极管具有较低的反向漏电流、高温下稳定性良好、响应速度快等特点。碳化硅二极管的核心是其晶片，这是制造碳化硅二极管的基础材料。晶片的质量直接影响到二极管的性能和可靠性，碳化硅晶片在生产的过程中需要进行单侧面蚀刻，在蚀刻完成后需要清洗蚀刻液，通过清洗去除蚀刻时晶片表面的各种污物，确保后续的工艺能够在洁净的表面上进行。

2、现有碳化硅晶片的清洗方式是将碳化硅晶片放入到清洗池中，然后在碳化硅晶片静置的状态下，通过冲洗去除晶片表面的污物。但上述清洗过程还存在以下不足：1、现有的清洗方式较为单一，对于粘附在晶片表面的污物，单一的冲洗方式难易将粘附的污物完全去除，清洗效果有待进一步提高；2、清洗后的污物会漂浮在清洗液中，再将晶片从清洗液中拿出或者将清洗液向外排空时，污物存在二次附着在晶片表面的情况，影响晶片的清洗效果。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种碳化硅产品自动清洗装置，包括底板，所述底板的顶部安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅产品自动清洗装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的顶部安装有前后排布的第一清洗机构（2）和第二清洗机构（3）以及位于第一清洗机构（2）左侧的输液机构（4），所述底板（1）的顶部通过立板固定连接有顶板（5），所述顶板（5）上安装有运输机构（6），所述第一清洗机构（2）中放置有存放机构（7），顶板（5）位于第一清洗机构（2）、第二清洗机构（3）、输液机构（4）上方；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅产品自动清洗装置，其特征在于：所述第一固定组件（22）包括固定连接在喷淋池（21）内壁上的呈凵形结构的限位架（221），所述限位架（221）两竖直段的相对侧...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅产品自动清洗装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的顶部安装有前后排布的第一清洗机构（2）和第二清洗机构（3）以及位于第一清洗机构（2）左侧的输液机构（4），所述底板（1）的顶部通过立板固定连接有顶板（5），所述顶板（5）上安装有运输机构（6），所述第一清洗机构（2）中放置有存放机构（7），顶板（5）位于第一清洗机构（2）、第二清洗机构（3）、输液机构（4）上方；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅产品自动清洗装置，其特征在于：所述第一固定组件（22）包括固定连接在喷淋池（21）内壁上的呈凵形结构的限位架（221），所述限位架（221）两竖直段的相对侧前后均滑动安装有第一挡块（222），两个所述第一挡块（222）的相背端与对应限位架（221）的内壁之间固定连接有复位弹簧一（223），所述限位架（221）靠近喷淋池（21）中心的一侧左右滑动安装有楔形块（224），所述第一挡块（222）的底部固定连接有推板，所述楔形块（224）与推板相配合，所述楔形块（224）靠近喷淋池（21）中心的一端固定连接有凸起球（225），所述第二固定组件（33）与第一固定组件（22）的结构相同。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅产品自动清洗装置，其特征在于：所述第一刷洗组件（23）包括上下活动安装在喷淋池（21）内部的横板（231），所述横板（231）的顶部左右等间距固定连接有若干支撑杆（232），所述支撑杆（232）的顶部固定安装有第一凵形架（233），所述第一凵形架（233）两竖直段的中部之间左右滑动安装有清洁刷（234），所述第一凵形架（233）两竖直段的顶部之间固定连接有喷淋管（235），所述第一凵形架（233）的右侧一体成型有安装板（236），所述安装板（236）上安装有带动清洁刷（234）左右移动的往复移动结构（237），所述喷淋管（235）的右侧固定连接有与其连通的弹性伸缩管（238），所述第一齿条（25）的顶端滑动贯穿至横板（231）的上方。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅产品自动清洗装置，其特征在于：所述往复移动结构（237）包括转动安装在安装板（236）内部的转轴（2371），所述转轴（2371）上固定连接有曲轴（2372），所述曲轴（2372）上转动连接有拉杆（2373），所述拉杆（2373）远离曲轴（2372）的一端与清洁刷（234）的右侧转动连接，所述转轴（2371）的外部转动安装有齿轮盘（2374），所述转轴（2371）和齿轮盘（2374）之间安装有棘轮棘爪机构（2375），所述第一齿条（25）与齿轮盘（2374）啮合配合。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅产品自动清洗装置，其特征在于：所述输液机构（4）包括安装在底板（1）顶部的储液箱（41），所述储液箱（41）的右侧固定连接有输液泵（42），所述输液泵（42）的输入口与储液箱（41）的内部连通，所述输液泵（42）的输出口上固定连接有输液管（43），所述输液管（43）的右端贯穿至喷淋池（21）的内部，所述弹性伸缩管（238）的底端与输液管（43）连通。

6.根据权利要求3所述的一种碳化硅产品自动清洗装置，其特征在于：所述第一升降机构（24）包括左右对称固定安装在喷淋池（21）内底壁上的竖直导轨（241），所述竖直导轨（241）的内部转动安装有第一丝杠（242），...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈光伟，李庆甲，高振国，
申请(专利权)人：辽宁汉京半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：