【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于石英舟焊接领域,尤其涉及一种粘钉舟焊接夹具及加工方法。
技术介绍
1、石英舟是一种由高纯度石英玻璃制成的实验室或工业用容器,通常用于高温、腐蚀性或高纯度环境下的材料处理。为了防止硅片、晶圆或其他片状材料在高温处理过程中滑动或移位,会在石英舟的承载面上制作小型石英钉(凸点)增加摩擦力,称为粘钉石英舟或粘钉舟。
2、粘钉石英舟在生产加工时,需要在两个石英舟受台沿二者圆周方向焊接多个石英舟天板。目前,传统的石英舟在焊接时,通常是将两个石英舟受台和多个石英舟天板分别通过对应夹具固定后,然后控制两个石英舟受台相互靠近,使得石英舟受台表面与石英舟天板端面抵触,然后工作人员手持焊接设备对各个石英舟天板与石英舟受台连接处进行焊接。
3、这种传统用于石英舟焊接的夹具在使用存在以下不足:1、工作人员手持焊接设备进行焊接时,由于石英舟天板的数量通常为三个,石英舟天板围绕石英舟受台圆周分布,工作人员需要不断根据石英舟天板的焊接位置来调整焊枪的焊接角度和位置,有的石英舟天板处于较高位置,有的石英舟天板处于较低位置,焊枪调整更
...【技术保护点】
1.一种粘钉舟焊接夹具,包括基座,其特征在于:所述基座上设置有左右对称的两个安装座,两个安装座与基座之间共同设置有用于驱动两个安装座相向滑动的滑动机构,两个安装座相对侧均设置有夹持机构,左右两个夹持机构分别固定对应粘钉石英舟受台的同时能够相互配合共同对多个粘钉石英舟天板进行锁定,所述基座上还固定设置有用于对两个安装座之间的距离进行检测并限位的限位架;
2.根据权利要求1所述的一种粘钉舟焊接夹具,其特征在于,所述滑动机构包括固定设置于基座上侧且左右对称的两个耳座一,两个耳座一之间共同转动设置有螺杆一,所述安装座的下侧中部与螺杆一螺纹连接,且两个安装座与同一个
...【技术特征摘要】
1.一种粘钉舟焊接夹具,包括基座,其特征在于:所述基座上设置有左右对称的两个安装座,两个安装座与基座之间共同设置有用于驱动两个安装座相向滑动的滑动机构,两个安装座相对侧均设置有夹持机构,左右两个夹持机构分别固定对应粘钉石英舟受台的同时能够相互配合共同对多个粘钉石英舟天板进行锁定,所述基座上还固定设置有用于对两个安装座之间的距离进行检测并限位的限位架;
2.根据权利要求1所述的一种粘钉舟焊接夹具,其特征在于,所述滑动机构包括固定设置于基座上侧且左右对称的两个耳座一,两个耳座一之间共同转动设置有螺杆一,所述安装座的下侧中部与螺杆一螺纹连接,且两个安装座与同一个螺杆一的螺纹连接方向相反,所述基座上固定设置有前后对称的两个导向条,所述导向条与安装座下侧滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种粘钉舟焊接夹具,其特征在于,所述夹持台远离对应安装座的一侧开设有多个沿其圆周方向均匀分布的滑槽一,所述调节组件包括转动设置于滑槽一内的螺杆二,所述螺杆二上螺纹连接有滑块一,所述滑块一滑动设置于滑槽一内,所述导向棒垂直固定于对应的滑块一上,所述转动部与对应的滑块一连接,所述夹持台的中部开设有驱动腔,所述螺杆二的一端活动延伸至驱动腔内并固定连接有锥齿轮一,所述驱动腔内通过转轴一转动设置有与锥齿轮一啮合的锥齿轮二,转轴一的一端活动贯穿夹持台的侧壁并固定连接有十字转盘。
4.根据权利要求1所述的一种粘钉舟焊接夹具,其特征在于,所述锁定组件包括与夹持台外侧固定连接的耳座二,所述耳座二上螺纹连接有锁定螺栓,所述锁定螺栓的一端与对应安装座的侧壁活动抵触。
5.根据权利要求3所述的一种粘钉舟焊接夹具,其特征在于,所述转动部包括固定设...
【专利技术属性】
技术研发人员:李来斌,王兴,高君,赵博,
申请(专利权)人:辽宁汉京半导体材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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