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本发明涉及碳化硅产品生产技术领域，具体为一种碳化硅产品自动清洗装置，包括底板，所述底板的顶部安装有前后排布的第一清洗机构和第二清洗机构以及位于第一清洗机构左侧的输液机构，所述底板的顶部通过立板固定连接有顶板，所述顶板上安装有运输机构，所述第...
该专利属于辽宁汉京半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁汉京半导体材料有限公司授权不得商用。

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