【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及废气排放，更具体地说，涉及一种排气组件及其控制方法。
技术介绍
1、在涂胶显影设备中，旋转单元的工作流程如下，晶圆置于载置台上，在驱动装置的驱动下进行旋转，化学液涂覆到晶圆上，在离心力的作用下，扩散至整个晶圆，在处理的过程中，需要从晶圆上方供给均匀的下沉气流，使得晶圆表面的化学液均匀。通过将旋转单元的若干排气通道汇聚在一起，与厂务排气通道连接，可将旋转单元内的气体排出。
2、为了保证旋转腔体与厂务排气通道的压差均匀，在与厂务排气通道的连接处设置风门，控制旋转腔体内的气压稳定。但是现有技术中仅使用风门来控制旋转单元的气压，旋转单元的若干排气通道的均匀性未进行调整，这就导致旋转腔内部，各排气通道的压力不均衡，导致旋转单元内部气流紊乱，对晶圆表面处理液的均匀性造成影响。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种排气组件的控制方法，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
2、本专利技术技术方案提供一种排气组件，包括排废支管和与所述排废支管连接的排废总管，...
【技术保护点】
1.一种排气组件，其特征在于，包括排废支管和与所述排废支管连接的排废总管，所述排废支管与旋转单元的排气通道连接，所述排废总管与厂务排气通道连接；每个所述排气支管内均设置有气压传感器和电动风门；
2.根据权利要求1所述的一种排气组件，其特征在于，所述气压传感器和所述电动风门沿气体流向依次设置。
3.根据权利要求1-2任一项所述的一种排气组件的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种排气组件的控制方法，其特征在于，所述起始位置为电动风门完全打开的位置。
5.根据权利要求3所述的一种排气组件的控制方法...
【技术特征摘要】
1.一种排气组件，其特征在于，包括排废支管和与所述排废支管连接的排废总管，所述排废支管与旋转单元的排气通道连接，所述排废总管与厂务排气通道连接；每个所述排气支管内均设置有气压传感器和电动风门；
2.根据权利要求1所述的一种排气组件，其特征在于，所述气压传感器和所述电动风门沿气体流向依次设置。
3.根据权利要求1-2任一项所述的一种排气组件的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种排气组件的控...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙吉，魏祥红，王桂昇，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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