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本发明公开了一种排气组件及其控制方法，该排气组件包括包括排废支管和与排废支管连接的排废总管，排废支管与旋转单元的排气通道连接，排废总管与厂务排气通道连接；每个排气支管内均设置有气压传感器和电动风门。各排废支管内的电动风门开度大小均可调，当连...
该专利属于合肥开悦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥开悦半导体科技有限公司授权不得商用。

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