一种具有镓回收装置的生长装置制造方法及图纸

本技术提供了一种具有镓回收装置的生长装置，其包括：生长腔室与镓回收装置，生长腔室包括生长区域及回收区域；镓回收装置包括：导热反应件与容纳器皿，导热反应件包括固定棒及翅片，固定棒连接于生长腔室，翅片连接于固定棒，且翅片设置于固定棒的前端；尾气中的含镓气体在导热反应件的作用下形成非气态镓。通过设置具有翅片的导热反应件，能够使得尾气与导热反应件充分接触，进而通过导热反应件将尾气中的含镓气体变成非气态镓，实现对镓的积聚，最后通过容纳器皿实现回收利用。采用本方案一方面能够降低副产物和金属镓形成的团聚体，由此减少后续回收系统过滤网孔堵塞的可能，另一方面也能够实现对镓高效的回收利用，避免资源浪费。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备，具体指一种具有镓回收装置的生长装置。

技术介绍

1、金属有机化学气相沉积(metal-organic chemical vapor deposition，mocvd)技术是现阶段进行化氮化镓(gan)外延生长的常见方法之一。在这个过程中，金属有机化合物，如ga(ch3)3(三甲基镓)与氮气(n2)以及氢气(h2)在高温下反应，以生长gan薄膜。然而，这个反应过程不仅会产生目标材料氮化镓，还会产生其他副产物，比如：氯化铵(nh4cl)、过量的镓氯化物(gacl3和gacl)以及未反应完全的金属镓(ga)。

2、这些副产物和未反应的金属镓在生长腔室中残留，容易形成团聚体。在后续的废气处理和回收阶段，这些团聚体可能会堵塞废气回收系统中的过滤网孔，导致系统效率下降甚至故障。此外，由于镓是一种成本较高的材料，因此难以回收利用的镓往往会造成的资源浪费。

3、目前，虽然有一些废气处理技术，如洗涤塔、吸附剂使用等，但这些方法往往不能较好地解决团聚体和镓的回收问题。因此现阶段迫切需要开发新的技术来实现镓的高效回收。

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述固定棒沿所述生长区域至所述回收区域的方向延伸；至少一个所述翅片垂直连接于所述固定棒，或者，所述翅片沿所述反应气体流动方向倾斜设置；

3.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述翅片包括相互连接的横向片及纵向片，所述纵向片垂直连接于所述固定棒，所述横向片垂直连接于所述纵向片，且平行于所述固定棒设置。

4.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述非气态镓包括液态镓，所述镓回收装置还包括温控机构，...

【技术特征摘要】

1.一种具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述固定棒沿所述生长区域至所述回收区域的方向延伸；至少一个所述翅片垂直连接于所述固定棒，或者，所述翅片沿所述反应气体流动方向倾斜设置；

3.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述翅片包括相互连接的横向片及纵向片，所述纵向片垂直连接于所述固定棒，所述横向片垂直连接于所述纵向片，且平行于所述固定棒设置。

4.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述非气态镓包括液态镓，所述镓回收装置还包括温控机构，所述温控机构包括控制器、加热器以及温度传感器，所述控制器与所述温度传感器以及所述加热器连接，所述加热器与所述固定棒靠近所述生长区域的一端临近设置，所述温度传感器与所述导热反应件临近设置；

5.根据权利要求1所述的具有镓回收装置的生长装置，其特征在于：所述固定棒一端穿出所述生长腔室，且连接于外部固...

【专利技术属性】
技术研发人员：周靖焱，蒋承鑫，徐琳，
申请(专利权)人：苏州纳维科技有限公司，
类型：新型
国别省市：