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一种具有镓回收装置的生长装置制造方法及图纸
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下载一种具有镓回收装置的生长装置的技术资料
文档序号:43762847
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本技术提供了一种具有镓回收装置的生长装置,其包括:生长腔室与镓回收装置,生长腔室包括生长区域及回收区域;镓回收装置包括:导热反应件与容纳器皿,导热反应件包括固定棒及翅片,固定棒连接于生长腔室,翅片连接于固定棒,且翅片设置于固定棒的前端;尾气...
该专利属于苏州纳维科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳维科技有限公司授权不得商用。
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