翻转装置及晶圆检测系统制造方法及图纸

本申请提供了一种翻转装置及晶圆检测系统，翻转装置包括机架机构、转动机构和连接机构，机架机构包括沿长度方向相连的第一支撑架、连接架和第二支撑架，第一支撑架为立方框架，转动机构沿长度方向设置，转动机构的一端设于第一支撑架，另一端设于第二支撑架，连接机构包括间隔的第一连接组件和第二连接组件，第一连接组件和第二连接组件皆分别连接转动机构和测试机，其中，转动机构能够带动连接机构相对机架机构转动，当测试机设于探针台上时，连接机构沿高度方向延伸，可以减小测试机和转动机构沿宽度方向的距离，进而减小测试机对连接机构施加的力矩，避免连接机构承载较大的力矩发生断裂等问题，有利于连接机构承载重量加大的测试机。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆检测系统，具体涉及一种翻转装置及晶圆检测系统。

技术介绍

1、进行晶圆检测时，测试机需要翻转并放置在探针台的上方并与探针台进行对接，随着晶圆芯片体积越来越小型化而功能电路上越来越复杂，导致测试机尺寸和重量不断变大，如何有效地将重量较大的测试机翻转至探针台的上方成为需要解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种翻转装置及晶圆检测系统，以解决如何有效地将重量较大的测试机翻转至探针台的上方的技术问题。

2、第一方面，本申请提供了一种翻转装置，所述翻转装置用于将测试机翻转至探针台上，所述翻转装置包括：

3、机架机构，所述机架机构包括第一支撑架、第二支撑架及分别连接第一支撑架和第二支撑架的连接架，所述第一支撑架和所述第二支撑架沿长度方向间隔设置，所述第一支撑架为立方框架；

4、转动机构，所述转动机构沿所述长度方向设置，所述转动机构的一端设于所述第一支撑架上，另一端设于所述第二支撑架上；以及

5、连接机构，所述连接机构包括间隔设置的第一连接组本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种翻转装置，其特征在于，用于将测试机翻转至探针台上，所述翻转装置包括：

2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述第一连接组件包括第一连接侧板及第一转角块，所述第一连接侧板连接所述转动机构，所述第一转角块设于所述第一连接侧板背离所述转动机构的一侧，所述第一转角块包括相连且相互垂直的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部连接所述第一连接侧板，所述第二连接部连接所述测试机；

3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述转动机构包括依次相连的转动电机、减速组件及转轴组件，所述转动电机通过所述减速组件带动所述转轴组件转动，所述减速组件包括相连的第一减速...

【技术特征摘要】

1.一种翻转装置，其特征在于，用于将测试机翻转至探针台上，所述翻转装置包括：

2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述第一连接组件包括第一连接侧板及第一转角块，所述第一连接侧板连接所述转动机构，所述第一转角块设于所述第一连接侧板背离所述转动机构的一侧，所述第一转角块包括相连且相互垂直的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部连接所述第一连接侧板，所述第二连接部连接所述测试机；

3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述转动机构包括依次相连的转动电机、减速组件及转轴组件，所述转动电机通过所述减速组件带动所述转轴组件转动，所述减速组件包括相连的第一减速机和第二减速机，所述第一减速机连接所述转动电机，所述第二减速机连接所述转轴组件，所述减速组件还包括减速机座、第一支撑块及第二支撑块，所述减速机座固定于所述第一支撑架上，且所述减速机座环设至少部分所述第二减速机的外周并固定连接所述第二减速机，所述第一支撑块和所述第二支撑块设于所述减速机座背离所述转轴组件的一侧，且所述第一支撑块和所述第二支撑块分别设于所述减速机座的两端，所述第一支撑块包括相连且相互垂直的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部连接所述第一支撑架，所述第二支撑部连接所述减速机座，所述第二支撑块包括相连且相互垂直的第三支撑部和第四支撑部，所述第三支撑部连接所述第一支撑架，所述第四支撑部连接所述减速机座。

4.根据权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述转轴组件还包括第一法兰、轴体和第二法兰，所述第一法兰的外周固定连接所述减速组件和所述轴体，所述第一法兰的轴心设有轴向贯穿的第一通孔，所述第一通孔用于穿过所述轴体，所述第一通孔上设有第一配合部，所述轴体靠近所述第一法兰的一端设有第二配合部，所述第一配合部和所述第二配合部配合以限位所述轴体，所述第一配合部和所述第二配合部中的一者为凹槽，另一者为凸起；所述第二法兰的轴心设有轴向贯穿的第二通孔，所述第二通孔用于穿过所述轴体，所述第二通孔上设有第三配合部，所述轴体靠近所述第二法兰的一端设有第四配合部，所述第三配合部和所述第四配合部配合以限位所述轴体，所述第三配合部和所述第四配合部中的一者为凹槽，另一者为凸起。

5.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于，所述第一法兰包括第一本体及第一凸块，所述第一本体固定连接所述第一连接侧板，所述第一凸块设于所述第一本体背离所述减速组件的一侧；所述第一连接侧板上设有第一通槽，所述第一凸块设于所述第一通槽内至少部分抵接所述第一通槽的槽壁，以限制所述第一连接侧板相对所述转轴组件转动，所述第一凸块可以沿垂直于所述第一连接侧板转动轴线的方向与所述第一通槽滑动连接；

6.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于，所述机架机构还包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板平行于所述翻转装置的放置面，所述第一安装板设于所述第一支撑架和所述减速机座之间，所述第二安装板设于所述第二支撑架上；

7.根据权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，所述翻转装置还包括传感器组件及控制器组件，所述传感器组件设于所述第二安装板上，所述控制器组件电性连接所述传感器组件，所述轴体远离所述转动电机的一端设有感应件，所述感应件用于跟随所述轴体转动，所述感应件和所述传感器组件配合以输出所述轴体的位置信号至所述控制器组件。

8.根据权利要求7所述的翻转装置，其特征在于，所述传感器组件包括传感器基座、第一传感器、第二传感器、及第三传感器，所述传感器基座包括第一基座、第二基座及第三基座，所述第二基座和所述第三基座设于所述第一基座的两端且沿所述高度方向延伸，所述第一传感器设于所述第一基座上，所述第二传感器设于所述第二基座上，所述第三传感器设于所述第三基座上；

9.根据权利要求7所述的翻转装置，其特征在于，所述传感器组件包括传感器基座、第一传感器、第二传感器、及第三传感器，所述传感器基座包括第一基座、第二基座及第...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟金成，姬祥，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：