下载翻转装置及晶圆检测系统的技术资料

文档序号:43752715

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了一种翻转装置及晶圆检测系统,翻转装置包括机架机构、转动机构和连接机构,机架机构包括沿长度方向相连的第一支撑架、连接架和第二支撑架,第一支撑架为立方框架,转动机构沿长度方向设置,转动机构的一端设于第一支撑架,另一端设于第二支撑架,...
该专利属于深圳市森美协尔科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市森美协尔科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。