一种功率开关器件制造技术

技术编号:43698139 阅读:23 留言:0更新日期:2024-12-18 21:13
本申请公开了一种功率开关器件,包括衬底层、外延层、栅极结构和场板结构。栅极结构为平面栅级结构。在功率开关器件的第一表面上,平面栅极结构位于功率开关器件的第一表面,并且在与所述第一表面平行的水平面上具有网眼状结构。本申请功率开关器件,将平面栅结构设计为网眼状结构,从而使栅极结构分布于场板结构间的每一个平台,增加了器件的电流扩散区,提高了器件的功率密度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体,特别涉及一种功率开关器件及其结构。


技术介绍

1、在部分功率开关器件中,负载电流自功率开关器件的一表面沿着垂直于该表面的方向流到另一表面。为提高功率开关器件的功率密度,减小功率开关器件的体积,改善功率开关器件的性能,功率开关器件发展出了多种结构,例如沟槽栅功率开关器件,屏蔽栅功率开关器件等。其中,屏蔽栅功率开关器件在栅沟槽底部引入场板结构,使器件具有高功率密度、低开关损耗等优点,被广泛应用于各电源系统中。

2、现有的屏蔽栅功率开关器件的电流路径在各栅沟槽之间的平台。屏蔽栅功率开关器件的电流能力取决于栅沟槽间的平台的宽度,使其器件优化存在瓶颈。


技术实现思路

1、本申请提供了一种功率开关器件,结合了平面栅极结构和场板结构,并将平面栅结构设计为网眼状结构,从而使栅极结构分布于场板结构间的每一个平台,增加了器件的电流扩散区,提高了器件的功率密度。

2、根据本专利技术的一实施例,提供了一种功率开关器件,具有平行的第一表面和第二表面,包括:衬底层;外延层,位于衬底层之上;栅极结本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种功率开关器件,具有平行的第一表面和第二表面,包括:

2.如权利要求1所述的功率开关器件,其中所述栅极结构的每个网眼呈四边形形状。

3.如权利要求1所述的功率开关器件,其中所述栅级结构的每个网眼呈六边形形状。

4.如权利要求1所述的功率开关器件,其中所述栅级结构的每个网眼呈正多边形形状。

5.如权利要求1-4任一项所述的功率开关器件,其中所述栅极结构的每个网眼的角处理成圆弧形。

6.如权利要求1所述的功率开关器件,其中在平行于所述第一表面的水平面上,所述栅极结构的每个网眼的形状与所述场板沟槽的形状一致。

7.如...

【技术特征摘要】

1.一种功率开关器件,具有平行的第一表面和第二表面,包括:

2.如权利要求1所述的功率开关器件,其中所述栅极结构的每个网眼呈四边形形状。

3.如权利要求1所述的功率开关器件,其中所述栅级结构的每个网眼呈六边形形状。

4.如权利要求1所述的功率开关器件,其中所述栅级结构的每个网眼呈正多边形形状。

5.如权利要求1-4任一项所述的功率开关器件,其中所述栅极结构的每个网眼的角处理成圆弧形。

6.如权利要求1所述的功率开关器件,其中在平行于所述第一表面的水平面上,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:王加坤吴兵
申请(专利权)人:杭州芯迈半导体技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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