【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及薄膜椭偏测量的，尤其涉及一种拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法。
技术介绍
1、连续梯度组分薄膜是指利用高通量制备技术，在同一个衬底上一次性覆盖大范围组分的薄膜样品。其优势一方面体现在生长和测量条件几乎完全一致，另一方面由于同一连续梯度组分薄膜包含组分广，因此可大大缩短新材料研发周期。基于连续梯度组分薄膜此特点，表征手段需具备分辨率极高的特性。椭圆偏振光谱仪(椭偏仪)由于光斑可被聚焦，且是一种高精度、高灵敏度、非破坏性等多重优势集结一体的表征方法，十分适用于连续梯度组分薄膜的光学测量。在椭圆偏振测量术(椭偏测量术)中，入射线偏振光中的p光和s光菲涅尔反射系数不同，造成了反射光两束光的振幅和相位发生变化，因此测试数据为椭偏角p光和s光的振幅比tanψ和p光和s光的相位差cosδ若要获取感兴趣的介电函数εr和εi，需要用到色散方程进行反演拟合获得。
2、然而目前成熟的拟合方法仅是针对单组分薄膜，若采用拟合单组分薄膜的方式来处理连续梯度组分薄膜的椭偏数据有如下问题：(1)由于连续梯度组分薄膜的椭偏测量数据量剧增，...
【技术保护点】
1.一种拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，具体步骤为：
2.根据权利要求1所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，所述包含Drude方程、Lorentz振子方程的联合色散模型为：
3.根据权利要求2所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，步骤S2所述得到反演结果的方法为：模拟退火-蚁群算法、人工蚁群算法或点对点算法进行椭偏反演，得到反演结果。
4.根据权利要求3所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，所述评价函数为：
5.根据权利要求2-4中任意一项...
【技术特征摘要】
1.一种拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，具体步骤为：
2.根据权利要求1所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，所述包含drude方程、lorentz振子方程的联合色散模型为：
3.根据权利要求2所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，步骤s2所述得到反演结果的方法为：模拟退火-蚁群算法、人工蚁群算法或点对点算法进行椭偏反演，得到反演结果。
4.根据权利要求3所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，所述评价函数为：
5.根据权利要求2-4中任意一项所述的拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，步骤s3所述对联合色散模型进行拟合的方法为：利用模拟退火算法对联合色散模型的拟合参数进行拟合。
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