温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出了一种拟合连续梯度组分薄膜椭偏测量数据的方法，其特征在于，具体步骤为：S1：等间隔选取多个测量点进行椭偏测试；S2：对所有测量点中靠近中心位置的测试点进行先行椭偏数据分析，得到反演结果；S3：利用评价函数来判定靠近中心位置的测试点...
该专利属于天津商业大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津商业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。