【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测，具体涉及一种定位机构、定位方法及晶圆检测装置。
技术介绍
1、在机械加工、制造、测试等各个环节中，普遍需要两部分机械机构临时对接，在完成相应的工序后再分离，为确保一致性，往往对两部分机械机构的对接精度有较高的要求，因此设计有专门的定位机构，以辅助两部分机械机构的定位。但是，现有的定位机构难以同时满足高精度及易于安装定位的要求。
2、具体地，常见的定位机构由定位销及销钉导套组成，定位销和销钉导套分别固定设置于需要对接的两部分机械机构，通过定位销插入销钉导套后可以限制两部分机械机构发生相对位移的自由度。若需要可靠定位，至少应保证两部分机械机构相对移动的五个自由度被限制，剩余一个方向的自由度为重力方向上的自由度，可由销钉导套连接的机械机构的重力进行约束。为实现五个自由度的限制，至少需要两套定位销和导套的配合，其中一套定位销和导套用于约束两部分机械机构在平面上的自由度，即x方向的移动自由度、y方向的移动自由度、绕x轴的转动自由度及绕y轴的转动自由度，另一套定位销和导套用于约束绕z轴的转动自由度，z方向上的移动自由...
【技术保护点】
1.一种定位机构，其特征在于，所述定位机构包括：
2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位销包括相连的第一定位部及第二定位部，所述第一定位部相较于所述第二定位部更靠近所述第一安装板设置，所述第一定位部的径向尺寸大于所述第二定位部的径向尺寸；当所述定位销与定位导套配合用于对第一安装板及第二安装板进行定位时，所述定位导套套设于所述第一定位部的外周，定位导套与第一定位部过渡配合，用于对第一安装板、第二安装板与定位导套的相对位置进行定位。
3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位机构还包括高度调节组件，所述高度调节组件设置于...
【技术特征摘要】
1.一种定位机构，其特征在于，所述定位机构包括：
2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位销包括相连的第一定位部及第二定位部，所述第一定位部相较于所述第二定位部更靠近所述第一安装板设置，所述第一定位部的径向尺寸大于所述第二定位部的径向尺寸；当所述定位销与定位导套配合用于对第一安装板及第二安装板进行定位时，所述定位导套套设于所述第一定位部的外周，定位导套与第一定位部过渡配合，用于对第一安装板、第二安装板与定位导套的相对位置进行定位。
3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位机构还包括高度调节组件，所述高度调节组件设置于所述第一安装板与所述第二安装板之间，用于调节所述第一安装板与所述第二安装板之间的距离。
4.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述第一定位部的径向尺寸d1与所述第二定位部的径向尺寸d2的差值的范围：0.02mm≤d1-d2≤0.1mm。
5.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位销还包括导向部，所述导向部与所述第二定位部弯折相连且所述导向部相较于所述第二定位部更远离所述第一安装板设置，所述第二定位部的径向尺寸大于或等于所述导向部的径向尺寸，所述导向部的径向尺寸自连接所述第二定位部的一端向背离所述第二定位部的一端逐渐减小。
6.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述导向部具有中轴线，所述导向部的外周侧壁与所述中轴线之间的角度α的范围：3°≤α≤15°。
7.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述第一安装板具有面向所述第二安装板间隔设置的多个沉槽，多个所述定位销对应设置于多个所述沉槽，且所述定位销具有穿设孔，所述定位组件还包括第一锁紧件，所述第一锁紧件依次穿设于所述穿设孔及所述第一安装板，以将所述定位销安装于所述第一安装板。
8.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位组件还包括多个第二锁紧件，当所述定位导套可活动穿设于所述安装孔且套设于所述第一定位部的外周时，所述第二锁紧件用于将所述定位导套锁附于所述第二安装板，以对所述第二安装板与所述定位导套的相对位置进行限位。
9.根据权利要求8所述的定位机构，其特征在于，所述定位导...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧晓永，余多明，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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