【技术实现步骤摘要】
本申请涉及碳化硅衬底多线切割，特别是涉及一种碳化硅晶体切割线断裂检测系统、方法及介质。
技术介绍
1、碳化硅(sic)材料，特别是其单晶体形态，是电力电子产业不可或缺的关键材料。sic凭借其出众的高压和高频电阻特性，在电动汽车系统、光伏逆变器系统、轨道交通电源控制系统等诸多系统具有广泛应用，能够有效缩减系统体积，简化结构设计，并显著提升功率密度。然而，sic衬底晶体的生产过程极为复杂，涉及苛刻的生长条件和较长的生长周期。同时，由于其高硬度特性，加工难度也相对较大。这些因素共同导致了sic衬底晶体的成本在整个sic生产链中占据较高比例。因此，确保sic加工过程的质量稳定、避免不良品的产生，成为了优化sic生产、降低成本并提高效率的关键。
2、在相关的sic晶体的切割过程中，当切割线发生断裂时，存在以下问题：当切割室内的切割线断裂时，由于高速飞散，这些断裂的切割线往往难以被即时检测到，导致漏检和报警延迟的情况时有发生，无法迅速响应以避免不良品的产生。此外，一旦机台因断线而触发报警并停机，大量散乱的切割线会缠绕在槽轮上，并可能穿透...
【技术保护点】
1.一种碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述碳化硅晶体切割线断裂检测系统包括：断线报警器和阻抗检测杆，所述阻抗检测杆通过导线与所述断线报警器连接；
2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述碳化硅晶体切割线断裂检测系统包括多组阻抗检测杆，每组所述阻抗检测杆分别设置于导轮的一侧；
3.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述断线报警器还用于，在触发所述报警指示后，若通过所述断线报警器的复位端口接收到复位脉冲，则解除所述报警指示。
4.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述碳化硅晶体切割线断裂检测系统包括：断线报警器和阻抗检测杆，所述阻抗检测杆通过导线与所述断线报警器连接；
2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述碳化硅晶体切割线断裂检测系统包括多组阻抗检测杆，每组所述阻抗检测杆分别设置于导轮的一侧；
3.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述断线报警器还用于，在触发所述报警指示后，若通过所述断线报警器的复位端口接收到复位脉冲，则解除所述报警指示。
4.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述断线报警器具体用于，
5.根据权利要求1所述的碳化硅晶体切割线断裂检测系统，其特征在于，所述断线报警器具体用于，若根据所述阻抗检测杆的输出电流和输出电压计算得到所述阻抗检测杆对目标参考点的阻抗值小于预设阻抗阈值时，触发报警指示。
6.一种碳化硅...
【专利技术属性】
技术研发人员：董亚南，张育唯，王中奇，邹宇，张平，娄艳芳，彭同华，杨建，
申请(专利权)人：江苏天科合达半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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