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本申请提供了一种碳化硅晶体切割线断裂检测系统、方法及介质，涉及碳化硅衬底多线切割技术领域。该系统包括断线报警器和阻抗检测杆，断线报警器用于，若通过阻抗检测杆检测到，阻抗检测杆对目标参考点的阻抗值小于预设阻抗阈值时，触发报警指示。本申请的碳化...
该专利属于江苏天科合达半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天科合达半导体有限公司授权不得商用。

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