【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及自动化控制，具体地说，涉及自动化控制中的流量比例控制技术，更具体地说，涉及一种流量比例控制方法及相关装置。
技术介绍
1、在半导体技术等领域中，精确地流量控制对于生产制造过程至关重要。以气体流量控制为例，流量比例控制器(flow ratio controller，frc)可以用于各种气体的流量比例控制，以确保生产过程中的稳定性和可重复性。例如在半导体器件的生产过程中，流量比例控制器可以控制向多个工艺腔室提供气体，精确控制通向各工艺腔室的气体流量比例是保障器件生产良率和性能的重要因素。但目前，流量比例控制过程中存在可能造成输出的气体的压力频繁波动的情况，给生产过程带来负面影响。
技术实现思路
1、本说明书实施例提供了一种流量比例控制方法及相关装置，以解决流量比例调节过程中输出气体的压力频繁波动的问题。
2、为实现上述技术目的，本说明书实施例提供了如下技术方案：
3、第一方面，本说明书的一个实施方式提供一种流量比例控制方法，应用于流量比例控制器，所述流量比例控制器包括多个气体支路，所述气体支路包括阀门，所述流量比例控制方法包括：
4、响应于多个所述气体支路的当前设定值变化为目标设定值，基于各所述气体支路对应的切换曲线，确定模拟变化次数，所述模拟变化次数包括按照各所述气体支路对应的切换曲线进行切换时的最大设定流量比例所在支路的变化次数；所述当前设定值用于表征所述气体支路当前的设定流量比例，所述目标设定值用于表征所述气体支路待切换为的设定流量
5、若所述模拟变化次数大于1，则基于各所述气体支路对应的中间流量比例修正各所述气体支路对应的切换曲线，得到目标切换曲线，所述目标切换曲线用于描述与所述目标切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述中间流量比例，再由所述中间流量比例切换为所述目标设定值的流量变化；第一目标支路对应的中间流量比例大于或等于第二目标支路对应的中间流量比例，第二目标支路对应的中间流量比例大于或等于除所述第一目标支路外的其他所述气体支路对应的中间流量比例；所述第一目标支路包括当前设定值最大的气体支路，所述第二目标支路包括目标设定值最大的气体支路；
6、基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所述气体支路的阀门，以将与所述目标切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述中间流量比例，再由所述中间流量比例切换为所述目标设定值。
7、第二方面，本说明书的一个实施方式提供一种流量比例控制器，包括：多个气体支路和控制模块，所述气体支路包括阀门；其中，
8、所述控制模块被配置为：响应于多个所述气体支路的当前设定值变化为目标设定值，基于各所述气体支路对应的切换曲线，确定模拟变化次数，所述模拟变化次数包括按照各所述气体支路对应的切换曲线进行切换时的最大设定流量比例所在支路的变化次数；所述当前设定值用于表征所述气体支路当前的设定流量比例，所述目标设定值用于表征所述气体支路待切换为的设定流量比例；所述切换曲线用于描述与所述切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述目标设定比例的方式；
9、若所述模拟变化次数大于1，则基于各所述气体支路对应的中间流量比例修正各所述气体支路对应的切换曲线，得到目标切换曲线，所述目标切换曲线用于描述与所述目标切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述中间流量比例，再由所述中间流量比例切换为所述目标设定值的流量变化；第一目标支路对应的中间流量比例大于或等于第二目标支路对应的中间流量比例，第二目标支路对应的中间流量比例大于或等于除所述第一目标支路外的其他所述气体支路对应的中间流量比例；所述第一目标支路包括当前设定值最大的气体支路，所述第二目标支路包括目标设定值最大的气体支路；
10、基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所述气体支路的阀门，以将与所述目标切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述中间流量比例，再由所述中间流量比例切换为所述目标设定值。
11、第三方面，本说明书的一个实施方式还提供了一种半导体工艺设备，包括：流量比例控制器和多个工艺腔室，所述流量比例控制器包括如上述任一项的流量比例控制器；
12、所述流量比例控制器中的多个气体支路分别用于为多个所述工艺腔室提供气体。
13、第四方面，本说明书的一个实施方式还提供了一种计算设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的流量比例控制方法。
14、第五方面，本说明书的一个实施方式还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述的流量比例控制方法。
15、第六方面，本说明书实施例提供了一种计算机程序产品或计算机程序，所述计算机程序产品包括计算机程序，所述计算机程序存储在计算机可读存储介质中；所述计算机设备的处理器从所述计算机可读存储介质读取所述计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的流量比例控制方法的步骤。
16、从上述技术方案可以看出，本说明书实施例提供的气体流量比例控制方法在多个所述气体支路的当前设定值变化为目标设定值时，基于各所述气体支路对应的切换曲线，确定模拟变化次数，所述模拟变化次数包括按照各所述气体支路对应的切换曲线进行切换时的最大设定流量比例所在支路的变化次数；所述当前设定值用于表征所述气体支路当前的设定流量比例，所述目标设定值用于表征所述气体支路待切换为的设定流量比例；所述切换曲线用于描述与所述切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述目标设定比例的方式；在模拟变化次数大于1时，基于各所述气体支路对应的中间流量比例修正各所述气体支路对应的切换曲线，得到目标切换曲线，所述目标切换曲线用于描述与所述目标切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述中间流量比例，再由所述中间流量比例切换为所述目标设定值的流量变化；第一目标支路对应的中间流量比例大于或等于第二目标支路对应的中间流量比例，第二目标支路对应的中间流量比例大于或等于除所述第一目标支路外的其他所述气体支路对应的中间流量比例；所述第一目标支路包括当前设定值最大的气体支路，所述第二目标支路包括目标设定值最大的气体支路；最后基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所述气体支路的阀门，以实现将与所述目标切换曲线对应的气体支路的设定流量比例由所述当前设定值逐渐变化为所述中间流量比例，再由所述中间流量比例切换为所述目标设定值的目的。如此，一方面在调整各气体支路的流量比例时，通过逐渐调节的方式，使各气体支路的流量比例逐渐趋近于目标设定值，避免了各气体支路的当前设定值直接本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种流量比例控制方法，其特征在于，应用于流量比例控制器，所述流量比例控制器包括多个气体支路，所述气体支路包括阀门，所述流量比例控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，各所述气体支路对应的切换曲线包括：以设定差值为斜率，以所述当前设定值为截距的线性曲线，所述设定差值包括所述气体支路的目标设定值减去所述气体支路的当前设定值；
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个气体支路各自对应的中间流量比例之和为1；
4.根据权利要求1～3任一项所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所述气体支路的阀门包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，得到各所述气体支路在多个目标时刻对应的第一设定值包括：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述流量比例控制器还包括：PID控制器；
7.一种流量比例控制器，其特征在于，包括：多个气体支路和控制模块，所述气体支路包括阀门；其中，
8.一种半导体工艺设备，其特
9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，还包括：供气设备，所述供气设备包括第一气体输出端；
10.一种计算设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1～6任一项所述的流量比例控制方法。
11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1～6任一项所述的流量比例控制方法。
...【技术特征摘要】
1.一种流量比例控制方法，其特征在于，应用于流量比例控制器，所述流量比例控制器包括多个气体支路，所述气体支路包括阀门，所述流量比例控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，各所述气体支路对应的切换曲线包括：以设定差值为斜率，以所述当前设定值为截距的线性曲线，所述设定差值包括所述气体支路的目标设定值减去所述气体支路的当前设定值；
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个气体支路各自对应的中间流量比例之和为1；
4.根据权利要求1～3任一项所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所述气体支路的阀门包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，得到各所述气体支路在多个目标时刻对应的第一设定值包括：
6.根据权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李召兴，夏资厚，邹义涛，
申请(专利权)人：北京华丞电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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