【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及自动化控制，具体地说，涉及自动化控制中的流量比例控制技术，更具体地说，涉及一种流量比例控制方法及相关装置。
技术介绍
1、在半导体技术等领域中，精确地流量控制对于生产制造过程至关重要。以气体流量控制为例，流量比例控制器(flow ratio controller，frc)可以用于各种气体的流量比例控制，以确保生产过程中的稳定性和可重复性。例如在半导体器件的生产过程中，流量比例控制器可以控制向多个工艺腔室提供气体，精确控制通向各工艺腔室的气体流量比例是保障器件生产良率和性能的重要因素。但目前，流量比例控制过程中存在可能造成输出的气体的压力频繁波动的情况，给生产过程带来负面影响。
技术实现思路
1、本说明书实施例提供了一种流量比例控制方法及相关装置，以解决流量比例调节过程中输出气体的压力频繁波动的问题。
2、为实现上述技术目的，本说明书实施例提供了如下技术方案：
3、第一方面，本说明书的一个实施方式提供一种流量比例控制方法，应用于流量比例控制器，所述流量比例...
【技术保护点】
1.一种流量比例控制方法，其特征在于，应用于流量比例控制器，所述流量比例控制器包括多个气体支路，所述气体支路包括阀门，所述流量比例控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，各所述气体支路对应的切换曲线包括：以设定差值为斜率，以所述当前设定值为截距的线性曲线，所述设定差值包括所述气体支路的目标设定值减去所述气体支路的当前设定值；
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个气体支路各自对应的中间流量比例之和为1；
4.根据权利要求1～3任一项所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所...
【技术特征摘要】
1.一种流量比例控制方法，其特征在于，应用于流量比例控制器，所述流量比例控制器包括多个气体支路，所述气体支路包括阀门，所述流量比例控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，各所述气体支路对应的切换曲线包括：以设定差值为斜率，以所述当前设定值为截距的线性曲线，所述设定差值包括所述气体支路的目标设定值减去所述气体支路的当前设定值；
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个气体支路各自对应的中间流量比例之和为1；
4.根据权利要求1～3任一项所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，控制所述气体支路的阀门包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于各所述气体支路对应的目标切换曲线，得到各所述气体支路在多个目标时刻对应的第一设定值包括：
6.根据权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李召兴，夏资厚，邹义涛，
申请(专利权)人：北京华丞电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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