下载一种流量比例控制方法及相关装置的技术资料

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本说明书实施例提供了一种流量比例控制方法,该方法一方面在调整各气体支路的流量比例时,通过逐渐调节的方式,使各气体支路的流量比例逐渐趋近于目标设定值,避免了各气体支路的当前设定值直接切换为目标设定值而可能造成的输出压力波动;另一方面,在通过各...
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