一种MPCVD籽晶摆放装置制造方法及图纸

本技术提供一种MPCVD籽晶摆放装置，涉及籽晶摆放领域。该MPCVD籽晶摆放装置，包括支撑板，所述支撑板上部开设有圆孔一，圆孔一内设置有可升降的样品台，所述支撑板上部滑动连接有夹爪安装架，所述夹爪安装架上部开设有贯穿式的圆孔二，圆孔二内设置有钼盘，所述夹爪安装架位于圆孔二的两侧内壁上分别设置有固定夹爪和活动夹爪。该MPCVD籽晶摆放装置，增加了籽晶定位盘，只需要将籽晶放置到定位盘的单元格里面即可，无需多次的调整，籽晶定位设有多种型号，对应不同尺寸的籽晶，可以摆放不同尺寸的籽晶，使用该装置以后，可以很快将籽晶精确放置到钼盘上面，保证摆放质量的同时，大大地节省了时间，同时还能降低人工的操作难度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种mpcvd籽晶摆放装置，具体为一种mpcvd籽晶摆放装置，属于籽晶摆放。

技术介绍

1、在mpcvd法金刚石生产准备过程中，需要人工将籽晶均匀摆放到钼盘上面，然后再将摆放有籽晶的钼盘放置到样品台上面。目前常见的钼盘直径有2寸、3寸和4寸的，因为要精确摆放，目前每次花费的摆放时间都很长。对于直径8寸的钼盘，籽晶摆放数量约为450多块。摆放时间将会大大增加，大约是3寸钼盘的8倍。同时摆放时间太长以后还会出现落灰的问题，影响长晶质量。

2、此外，将放有籽晶的钼盘放置到样品台上面也有一定的难度，由于长晶的需要，摆放籽晶的钼盘表面为光滑的平面，将钼盘放置到样品台的过程中经常会发生滑片，导致摆放工作的浪费。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种mpcvd籽晶摆放装置，以解决现有技术中籽晶摆放完全依靠人的眼力确保摆放质量，难度很大而且需要很长的时间的问题。

3、(二)技术方案

4、本技术通过以下技术方案予以实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MPCVD籽晶摆放装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)上部开设有圆孔一，圆孔一内设置有可升降的样品台(2)，所述支撑板(1)上部滑动连接有夹爪安装架(5)，所述夹爪安装架(5)上部开设有贯穿式的圆孔二，圆孔二内设置有钼盘(3)，所述夹爪安装架(5)位于圆孔二的两侧内壁上分别设置有固定夹爪(7)和活动夹爪(8)，所述固定夹爪(7)和活动夹爪(8)之间夹持有钼盘(3)，所述钼盘(3)上部贴合有籽晶定位盘(4)。

2.根据权利要求1所述的一种MPCVD籽晶摆放装置，其特征在于：所述支撑板(1)上部固定连接有两个导轨(10)，所述夹爪安装架(5)底部通过螺栓固...

【技术特征摘要】

1.一种mpcvd籽晶摆放装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)上部开设有圆孔一，圆孔一内设置有可升降的样品台(2)，所述支撑板(1)上部滑动连接有夹爪安装架(5)，所述夹爪安装架(5)上部开设有贯穿式的圆孔二，圆孔二内设置有钼盘(3)，所述夹爪安装架(5)位于圆孔二的两侧内壁上分别设置有固定夹爪(7)和活动夹爪(8)，所述固定夹爪(7)和活动夹爪(8)之间夹持有钼盘(3)，所述钼盘(3)上部贴合有籽晶定位盘(4)。

2.根据权利要求1所述的一种mpcvd籽晶摆放装置，其特征在于：所述支撑板(1)上部固定连接有两个导轨(10)，所述夹爪安装架(5)底部通过螺栓固定连接有两个滑块(6)，两个滑块(6)分别滑动连接在两个导轨(10)上。

3.根据权利要求1所述的一种mpcvd籽晶摆放装置，其特征在于：活动夹爪(8)包括导向座(13)和夹爪一(16)，所述夹爪一(16)一侧与钼盘(3)外侧相抵触，所述夹爪一(16)另一侧转动连接有螺杆(12)，所述螺杆(12)螺纹连接在导向座(13)一侧开设的螺纹槽内，且螺杆(12)活动端固定连接有手轮(11)，所述手轮(11)位于导向座(13)背离夹爪一(16)的一侧，所述夹爪一(16)另一侧固定连接有导向轴(15)，所述导向轴(15)活动端转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵惠文，赵俊芳，乔耀明，邱永强，
申请(专利权)人：碳方程半导体设备制造山西有限公司，
类型：新型
国别省市：