下载一种MPCVD籽晶摆放装置的技术资料

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本技术提供一种MPCVD籽晶摆放装置,涉及籽晶摆放领域。该MPCVD籽晶摆放装置,包括支撑板,所述支撑板上部开设有圆孔一,圆孔一内设置有可升降的样品台,所述支撑板上部滑动连接有夹爪安装架,所述夹爪安装架上部开设有贯穿式的圆孔二,圆孔二内设置...
该专利属于碳方程半导体设备制造(山西)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过碳方程半导体设备制造(山西)有限公司授权不得商用。

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