【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工检测领域，具体涉及一种扫描探针显微镜的振动噪声测量装置。
技术介绍
1、扫描探针显微镜（spm， scanning probe microscopy）广泛应用于现代工业生产和科学研究之中，是利用探针对样品表面形貌进行精密测量的设备，扫描探针显微镜包括原子力显微镜afm，扫描隧道显微镜stm 等。
2、扫描探针显微镜对样品形貌的表征精度可达纳米甚至亚纳米，因此其对振动（包括环境振动和设备本身振动）极其敏感，而各种防震措施（减震平台，主动/被动气动隔振器等）不能把振动完全过滤掉，因此测量结果还是会受振动所带来的噪声的影响。因此需要通过主动测量振动噪声，并在样品形貌信号中分离并去除振动噪声。
3、目前现有的扫描探针显微镜技术或者产品中还没有此主动去除环境振动噪声干扰的技术解决方案。
技术实现思路
1、本技术目的在于提出了一种扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，采取的技术方案如下：
2、一种扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，包括扫描探针显微镜模...
【技术保护点】
1.一种扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，其特征在于：包括扫描探针显微镜模块（1）、地震波检测仪模块（2）和控制与数据处理模块（3），样品（16）置于扫描探针显微镜模块（1）上，扫描探针显微镜模块（1）电连接控制与数据处理模块（3），扫描探针显微镜模块（1）内的探针（14）检测样品（16）的形貌缺陷，并将信号传递给控制与数据处理模块（3）；地震波检测仪模块（2）设置在扫描探针显微镜模块（1）上，地震波检测仪模块（2）电连接控制与数据处理模块（3），地震波检测仪模块（2）检测环境给扫描探针显微镜模块（1）带来的振动噪声，并将此信号传递给控制与数据处理模块（3）。
...【技术特征摘要】
1.一种扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，其特征在于：包括扫描探针显微镜模块（1）、地震波检测仪模块（2）和控制与数据处理模块（3），样品（16）置于扫描探针显微镜模块（1）上，扫描探针显微镜模块（1）电连接控制与数据处理模块（3），扫描探针显微镜模块（1）内的探针（14）检测样品（16）的形貌缺陷，并将信号传递给控制与数据处理模块（3）；地震波检测仪模块（2）设置在扫描探针显微镜模块（1）上，地震波检测仪模块（2）电连接控制与数据处理模块（3），地震波检测仪模块（2）检测环境给扫描探针显微镜模块（1）带来的振动噪声，并将此信号传递给控制与数据处理模块（3）。
2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，其特征在于：扫描探针显微镜模块（1）还包括基座（11）、支架（12）、反馈驱动子模块（13）和样品台子模块（15），所述支架（12）与所述基座（11）固定连接，样品台子模块（15）设置在基座（11）上，反馈驱动子模块（13）设置在支架（12）上，反馈驱动子模块（13）电连接控制与数据处理模块（3），探针（14）悬挂在反馈驱动子模块（13）上且电连接，探针（14）悬于样品台子模块（15）的正上方，对放置在样品台子模块（15）上的样品（16）进行形貌缺陷的检测。
3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，其特征在于：支架（12）呈l型，支架（12）的竖臂设置在基座（11）上，支架（12）的横臂位于基座（11）的上方。
4.根据权利要求3所述的扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，其特征在于：所述地震波检测仪模块（2）设置在基座（11）且电连接控制与数据处理模块（3）。
5.根据权利要求3所述的扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，其特征在于：所述地震波检测仪模块（2）设置在支架（12）且电连接控制与数据处理模块（3）。
6.根据权利要求4或5所述的扫描探针显微镜的振动噪声测...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨见飞，王强，龙亚文，
申请(专利权)人：南京埃米仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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