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本技术公开了一种扫描探针显微镜的振动噪声测量装置，包括扫描探针显微镜模块、地震波检测仪模块和控制与数据处理模块，样品置于扫描探针显微镜模块上，扫描探针显微镜模块电连接控制与数据处理模块，扫描探针显微镜模块内的探针检测样品的形貌缺陷，并将信号...
该专利属于南京埃米仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京埃米仪器科技有限公司授权不得商用。

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