【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光切割控制,尤其涉及一种新型的基板切割方法。
技术介绍
1、半导体基板产品由于尺寸小,单片加工效率低,所以实际加工时为大片加工,完成后再通过切割分成小片,做出最终的成品。为了便于理解,下面提供一个实际的例子。 最常见的半导体基板成品为长方形,实际切割时候先横向切割,再竖向切割,最终产出长方形的小片 但由于实际产品设计的需求,有时需要切割成非长方形的形状,如正三角形。常规的做法是仍然先切割成长方形,然后通过打磨,形成所需要的三角形状。
2、现有的半导体基板切割方式,先将半导体基板切成四边形,四边形包括长方形或者正方形,然后再对半导体基板进行二次加工的方式,导致半导体基板生产效率低,半导体基板良率低,导致半导体基板整体制作成本大幅增加,对批量生产半导体基板产生影响。
技术实现思路
1、针对现有技术不足,本专利技术提供一种新型的基板切割方法,解决由于半导体基板良率低,导致半导体基板整体制作成本大幅增加的问题。
2、为解决上述技术问题,本专利技术的具体技术方
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【技术保护点】
1.一种新型的基板切割方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S102,包括:
3.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S103,包括:
4.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S104,包括:
5.如权利要求4所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S104,包括:
6.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S105,包括:
7.如权利要求6所述的新型的基板切割方法,其特征在于,
...【技术特征摘要】
1.一种新型的基板切割方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤s102,包括:
3.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤s103,包括:
4.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:王中健,屈锟,
申请(专利权)人:深圳市诺信博通讯有限公司,
类型:发明
国别省市:
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