一种新型的基板切割方法技术

技术编号:43579409 阅读:15 留言:0更新日期:2024-12-06 17:45
本发明专利技术涉及激光切割控制技术领域,本发明专利技术提供的一种新型的基板切割方法,本发明专利技术通过获取基板切割任务数据和设备数据,利用数字孪生模型生成实时待切割基板影像,并通过基板切割模拟模型进行模拟切割,与切割目标数据对比提升质量。若切割合格,则预测成本;若成本不符合目标,则优化模拟模型。对切割步骤进行聚类分析并优化,使用优化后的模型模拟筛选出最佳切割步骤。本发明专利技术有效提高了半导体基板切割的效率和良率,降低了制作成本,解决了现有技术中基板良率低导致成本增加的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光切割控制,尤其涉及一种新型的基板切割方法


技术介绍

1、半导体基板产品由于尺寸小,单片加工效率低,所以实际加工时为大片加工,完成后再通过切割分成小片,做出最终的成品。为了便于理解,下面提供一个实际的例子。 最常见的半导体基板成品为长方形,实际切割时候先横向切割,再竖向切割,最终产出长方形的小片 但由于实际产品设计的需求,有时需要切割成非长方形的形状,如正三角形。常规的做法是仍然先切割成长方形,然后通过打磨,形成所需要的三角形状。

2、现有的半导体基板切割方式,先将半导体基板切成四边形,四边形包括长方形或者正方形,然后再对半导体基板进行二次加工的方式,导致半导体基板生产效率低,半导体基板良率低,导致半导体基板整体制作成本大幅增加,对批量生产半导体基板产生影响。


技术实现思路

1、针对现有技术不足,本专利技术提供一种新型的基板切割方法,解决由于半导体基板良率低,导致半导体基板整体制作成本大幅增加的问题。

2、为解决上述技术问题,本专利技术的具体技术方案如下:

...

【技术保护点】

1.一种新型的基板切割方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S102,包括:

3.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S103,包括:

4.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S104,包括:

5.如权利要求4所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S104,包括:

6.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S105,包括:

7.如权利要求6所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤S105,包...

【技术特征摘要】

1.一种新型的基板切割方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤s102,包括:

3.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所述步骤s103,包括:

4.如权利要求1所述的新型的基板切割方法,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:王中健屈锟
申请(专利权)人:深圳市诺信博通讯有限公司
类型:发明
国别省市:

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