【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片生产领域，尤其涉及一种用于真空镀膜的排废气系统。
技术介绍
1、随着光伏行业的发展，为提高硅片的转化效率，硅片的镀膜工艺在不断改进。其中企业在日常生产中经常使用的硅片镀膜工艺为pecvd镀膜工艺。pecvd镀膜工艺所用的工艺气体种类有所变化，其中有一些工艺气体为具有危险性的易燃易爆气体和有毒气体，这就对真空镀膜设备的真空排废气系统的安全有更高的要求。
2、pecvd设备是目前光伏行业硅片镀膜工艺常用的一种真空镀膜设备，市面上常见的pecvd设备为多腔体设备，每个反应腔室都有独立的一套工艺进气系统和抽真空排废气系统，pecvd设备进行正常镀膜工艺过程中，工艺废气从真空泵排到尾气处理端进行处理。真空泵长时间工作后，真空泵可能会在正常生产过程中因故障而停止抽真空，导致工艺废气停留在反应腔室、真空管道和真空泵内。若不对残留在真空管道、真空泵内的工艺废气进行处理，直接拆卸维修或更换真空泵，则会导致真空管道及真空泵内部残留的工艺废气泄漏，存在安全事故的隐患。
技术实现思路
1、本技术旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本技术提出了一种用于真空镀膜的排废气系统，在真空泵发生故障时，能够对真空泵内部残留的工艺废气进行处理。
2、根据本技术一种用于真空镀膜的排废气系统，包括第一反应腔室、第一真空泵和第一辅助连接管；所述第一真空泵的进气口设置有与所述第一反应腔室相连通的第一进气管道，所述第一进气管道设置有能够自动开启或关闭所述第一进气管道的第一气动开关阀
3、根据本技术的一种用于真空镀膜的排废气系统，具有如下有益效果：初始时，第一手动开关阀及第二手动开关阀处于关闭状态，第一真空泵正常工作抽真空时，第一气动开关阀自动开启第一进气管道，第一真空泵通过第一进气管道能够抽取第一反应腔室内部的工艺废气以便于后续处理；当第一真空泵发生故障并停止抽真空时，第一气动开关阀自动关闭第一进气管道并切断第一反应腔室与第一真空泵之间的连通，然后工人手动开启第一手动开关阀及第二手动开关阀，再然后不断地往第一排气通道内部通入用于处理工艺废气的稀释气体，稀释气体依次穿过第二手动开关阀、第一辅助连接管及第一气动开关阀，稀释气体再流动至第一真空泵内部，在此过程，稀释气体可对第一真空泵、部分第一进气管道中残留的工艺废气进行处理或稀释，之后企业可对发生故障的第一真空泵进行维修或更换新的真空泵，有效避免了未经处理的工艺废气泄漏，进而使得企业的生产更加安全。
4、在本技术的一些实施方式中，所述第一辅助连接管为能够弯曲变形的柔性管件。
5、在本技术的一些实施方式中，所述第一辅助连接管为波纹管。
6、在本技术的一些实施方式中，所述第一辅助连接管与所述第一手动开关阀相互分离时，所述第一手动开关阀的出口可拆卸安装有第一密封塞。
7、在本技术的一些实施方式中，所述第一辅助连接管与所述第二手动开关阀相互分离时，所述第二手动开关阀的出口可拆卸安装有第二密封塞。
8、在本技术的一些实施方式中，还包括第二反应腔室和第二真空泵，所述第二真空泵的进气口设置有与所述第二反应腔室相连通的第二进气管道，所述第二进气管道设置有能够自动开启或关闭所述第二进气管道的第二气动开关阀，所述第二进气管道设置有第三手动开关阀，所述第三手动开关阀位于所述第二气动开关阀与所述第二真空泵之间，所述第二真空泵的出气口设置有第二排气通道，所述第二排气通道设置有第四手动开关阀；所述第一进气管道侧壁设置有第五手动开关阀，所述第五手动开关阀位于所述第一反应腔室与所述第一气动开关阀之间；其中，所述第一辅助连接管与所述第一手动开关阀、所述第二手动开关阀相互分离，且所述第一辅助连接管的一端与所述第五手动开关阀可拆卸连接，所述第一辅助连接管的另一端与所述第三手动开关阀可拆卸连接；所述第五手动开关阀能够控制所述第一进气管道与所述第一辅助连接管相互连通或相互断开，所述第三手动开关阀能够控制所述第二进气管道与所述第一辅助连接管相互连通或相互断开。
9、在本技术的一些实施方式中，还包括第二辅助连接管；所述第一辅助连接管的一端与所述第一手动开关阀可拆卸连接，所述第一辅助连接管的另一端与所述第二手动开关阀可拆卸连接；且所述第二辅助连接管的一端与所述第五手动开关阀可拆卸连接，所述第二辅助连接管的另一端与所述第三手动开关阀可拆卸连接。
10、在本技术的一些实施方式中，所述第二辅助连接管为能够弯曲变形的柔性管件。
11、在本技术的一些实施方式中，所述第二辅助连接管为波纹管。
12、在本技术的一些实施方式中，所述第二进气管道的侧壁设置有第六手动开关阀，所述第六手动开关阀位于所述第二反应腔室与所述第二气动开关阀之间。
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1.一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管为能够弯曲变形的柔性管件。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管为波纹管。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管与所述第一手动开关阀相互分离时，所述第一手动开关阀的出口可拆卸安装有第一密封塞。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管与所述第二手动开关阀相互分离时，所述第二手动开关阀的出口可拆卸安装有第二密封塞。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：还包括第二反应腔室和第二真空泵，所述第二真空泵的进气口设置有与所述第二反应腔室相连通的第二进气管道，所述第二进气管道设置有能够自动开启或关闭所述第二进气管道的第二气动开关阀，所述第二进气管道设置有第三手动开关阀，所述第三手动开关阀位于所述第二气动开关阀与所述第二真空泵之间，
7.根据权利要求6所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：还包括第二辅助连接管；
8.根据权利要求7所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第二辅助连接管为能够弯曲变形的柔性管件。
9.根据权利要求8所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第二辅助连接管为波纹管。
10.根据权利要求7所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第二进气管道的侧壁设置有第六手动开关阀，所述第六手动开关阀位于所述第二反应腔室与所述第二气动开关阀之间。
...【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管为能够弯曲变形的柔性管件。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管为波纹管。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管与所述第一手动开关阀相互分离时，所述第一手动开关阀的出口可拆卸安装有第一密封塞。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：所述第一辅助连接管与所述第二手动开关阀相互分离时，所述第二手动开关阀的出口可拆卸安装有第二密封塞。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的排废气系统，其特征在于：还包括第二反应腔室和第二真空泵，所述第二真空泵的进气口设置有与所述第二反应腔室相...
【专利技术属性】
技术研发人员：李学文，刘兵吉，王凯，黄章羽，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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