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本技术公开了一种用于真空镀膜的排废气系统,包括第一反应腔室、第一真空泵和第一辅助连接管;第一真空泵通过第一进气管道与第一反应腔室相连通,第一进气管道设置有第一气动开关阀、第一手动开关阀,第一真空泵设置有第一排气通道,第一排气通道设置有第二手...该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。
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