一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机，其包括真空镀膜室，在真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口和密封闭合门，真空镀膜室的中部设有公转架，在公转架上设有倒挂式自转架，倒挂式自转架包括升降机构、提升轴、插销锁定机构和转轴，转轴由公转架内的同步电机带动转动，转轴的下端设有第一定位结构，转轴设有中部通孔，提升轴穿于中部通孔中，提升轴的下端设有第一对接结构，上端与升降机构连接，插销锁定机构能够对提升轴进行锁定；磁控溅射镀膜机还包括工件架，工件架的上面设有第二对接结构和第二定位结构，工件架用于固定产品，溅射源设在真空镀膜室的底部。本发明专利技术能避免真空镀膜室内脱落的膜层及其他异物掉落到产品上，保证了镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁控溅射镀膜，具体涉及一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机。

技术介绍

1、磁控溅射镀膜技术己广泛用于各行业制备硬质膜和功能膜，如工模具保护膜，磨损产品的耐磨膜和减摩膜，人手触摸的各类制品装饰膜，还有各种光学膜、光电膜、磁性膜等，所应用的镀膜产品形状大小五花八门，而磁控溅射靶的结构设计也日趋成熟，一般来说可适用于各种产品的镀膜。

2、磁控溅射镀膜通常都是在真空镀膜室内进行，现有的磁控溅射镀膜机在真空镀膜室的中部设置公转架，在公装架上设置多个用于带动产品自转的自转架，多个自转架围绕公转架的中心布置，随公转架一同转动，溅射源设置在真空镀膜室的顶部，位于自转架的上方，在真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口，产品送入口处设有密封闭合门，密封闭合门能够向侧边移动打开。

3、使用时首先将密封闭合门打开，通过机械手将产品从产品送入口送入真空镀膜室，并固定到自转架上面，产品的需镀膜的表面朝上。完成一个自转架上产品的放置后，公转件转动至下一个自转架与产品送入口对应，进行下一个自转架上的产品的放置，在完成所有自转架上产品的放置后，关闭密封闭合门，之后本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机，其包括真空镀膜室，在所述真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口，所述产品送入口处设有密封闭合门，所述真空镀膜室的中部设有公转架，其特征在于：在所述公转架上围绕所述公转架的中心设有倒挂式自转架，所述倒挂式自转架包括升降机构、提升轴、插销锁定机构和转动设置的转轴，所述转轴由所述公转架内的同步电机带动转动，所述转轴的下端设有第一定位结构，所述转轴设有中部通孔，所述提升轴穿于所述中部通孔中，所述提升轴的下端设有第一对接结构，上端与所述升降机构连接，所述插销锁定机构能够在所述提升轴被所述升降机构提升到位时对所述提升轴进行锁定；所述磁控溅射镀膜机还包括工件架，所述工件架的...

【技术特征摘要】

1.一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机，其包括真空镀膜室，在所述真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口，所述产品送入口处设有密封闭合门，所述真空镀膜室的中部设有公转架，其特征在于：在所述公转架上围绕所述公转架的中心设有倒挂式自转架，所述倒挂式自转架包括升降机构、提升轴、插销锁定机构和转动设置的转轴，所述转轴由所述公转架内的同步电机带动转动，所述转轴的下端设有第一定位结构，所述转轴设有中部通孔，所述提升轴穿于所述中部通孔中，所述提升轴的下端设有第一对接结构，上端与所述升降机构连接，所述插销锁定机构能够在所述提升轴被所述升降机构提升到位时对所述提升轴进行锁定；所述磁控溅射镀膜机还包括工件架，所述工件架的上面设有能与所述第一对接结构对接的第二对接结构和能与所述第一定位结构对接的第二定位结构，所述工件架的下面用于固定安装需镀膜的产品，产品的需镀膜的表面将朝下；所述磁控溅射镀膜机的溅射源设在所述真空镀膜室的底部。

2.根据权利要求1所述的倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述倒挂式自转架还包括顶部固定座和气电滑环，所述顶部固定座固定在所述公转架上，所述气电滑环的固定部分固定在所述顶部固定座上，所述气电滑环的转动部分与所述转轴连接。

3.根据权利要求1所述的倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述转轴的上面固定设有安装座，所述升降机构固定安装在所述安装座的上面，所述插销锁定机构包括伸缩机构和插销，所述插销滑动设在所述安装座侧壁上的横向穿孔中，所述插销的外端与所述伸缩机构连接，所述安装座设有中孔，所述提升轴的上端能穿入所述中孔，所述提升轴上设有插孔，当所述提升轴被所述升降机构提升到位时能通过所述伸缩机构推动所述插销插入所述插孔中。

4.根据权利要求1所述的倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述公转架上包裹有密封外壳，所述密封外壳将内部空间与所述真空镀膜室内的真空环境隔离，所述密封外壳对应每个所述倒挂式自...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，李志方，陈思，杨锦泉，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：