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本发明公开了一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机,其包括真空镀膜室,在真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口和密封闭合门,真空镀膜室的中部设有公转架,在公转架上设有倒挂式自转架,倒挂式自转架包括升降机构、提升轴、插销锁定机构和转轴,转轴由公转架内的同步电...该专利属于广东汇成真空科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东汇成真空科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机,其包括真空镀膜室,在真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口和密封闭合门,真空镀膜室的中部设有公转架,在公转架上设有倒挂式自转架,倒挂式自转架包括升降机构、提升轴、插销锁定机构和转轴,转轴由公转架内的同步电...