一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台技术

本发明专利技术涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；所述羧基附着层设置在所述导电基底上，并通过所述导电基底与所述电信号处理终端电连接；所述羧基附着层的表面包括活性羧基，所述活性羧基能与所述异丙醇反应并将所述异丙醇捕获；所述电信号处理端与所述羧基附着层电连接，并通过所述活性羧基与所述异丙醇反应过程中的反应电信号，确定对应的异丙醇含量。本发明专利技术通过在导电基底上增设对应的羧基附着层，将异丙醇捕获，而在反应过程中会引发反应电信号，因此，通过监测反应电信号的信号强度，即可精准获知环境中异丙醇的实时含量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台。

技术介绍

1、在半导体工艺中，ipa（异丙醇）对晶圆表面进行清洁与干燥起到重要作用，然而其作用于晶圆表面的含量并不是越多越好。目前半导体工艺机台主要监测ipa有两种方式，第一种通过监测贮存ipa的起泡罐液面确定其含有量，计算携带ipa的氮气推测ipa的含量；第二种方式为测量贮存ipa的起泡罐重量降低来推测其喷出量。

2、但由于ipa（异丙醇）在起泡罐中为液态和雾化两种状态混合，很难有效通过监控其重量的变化推定对应的ipa含有量；而利用监测携带ipa的氮气从而推测ipa含量也存在一定误差。

3、因此，如何监测实际作用于晶圆表面的ipa含量，就成了本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台，以解决现有技术中实际作用于晶圆表面的ipa含量难以监测的问题。

2、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种异丙醇监控组件，包括羧基本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异丙醇监控组件，其特征在于，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；

2.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述羧基附着层为羧基化的碳纳米管薄膜。

3.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

4.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

5.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，包括多个导电基底及与所述导电基底对应的羧基附着层。

6.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，还包括显示器；</p>

7.如权...

【技术特征摘要】

1.一种异丙醇监控组件，其特征在于，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；

2.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述羧基附着层为羧基化的碳纳米管薄膜。

3.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

4.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，所述导电基底设置于异丙醇传输管路中；

5.如权利要求1所述的异丙醇监控组件，其特征在于，包括多个导电基底及与所述导电基底对应的羧基附着层。

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏晖，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：

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