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本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种异丙醇监控组件、监控方法及半导体工艺机台，包括羧基附着层、导电基底及电信号处理终端；所述羧基附着层设置在所述导电基底上，并通过所述导电基底与所述电信号处理终端电连接；所述羧基附着层的表面包括活性羧基，...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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