【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于定位测距领域，具体涉及一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法。
技术介绍
1、在半导体制造过程中精确的定位是关键，但半导体制造环境常常存在灰尘、油污、化学腐蚀，传统的定位设备容易受到这些恶劣环境的影响，从而导致定位效果不佳，在这种情况下磁编码器因具有较好的环境适应性，同时利用磁场变化进行定位，提供无接触测量，大大减少了机械磨损，成为半导体制造过程中常用的定位设备。
2、一般来说磁编码器分为增量型和绝对型两种，由于半导体制造过程中对定位精度要求较高，而增量型磁编码器能够提供高分辨率的位置信息使得增量型磁编码器成为半导体制造中广泛采用的磁编码器，但是增量型磁编码器测量的是相对位置，需要与起始位置配合使用，这就使得增量磁编码器每次上电都需要归零，这在高度集成的自动化环境中可能导致额外的时间成本和复杂性。
3、为了解决这个问题，现有授权公告号为cn105099291b的中国专利技术专利公开了一种磁性编码器及电机，该专利技术考虑到磁性编码器不能保持其零点与电机存在电动势的关联关系，由此通过提供寄存器，与该寄...
【技术保护点】
1.一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述对中检测如下过程：
3.如权利要求2所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述安装稳定性检测如下过程：
4.如权利要求3所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述测距安装调整参见下述过程：
5.如权利要求1所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述基于采集的环境信息进行第一磁编码器定位数据的存储处理实施如
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【技术特征摘要】
1.一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述对中检测如下过程：
3.如权利要求2所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述安装稳定性检测如下过程：
4.如权利要求3所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述测距安装调整参见下述过程：
5.如权利要求1所述的一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于：所述基于采集的环境信息进行第一磁编码器定位数据的存储处理实施如下：
6.如权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：任鲁杰，张潮辉，周仕水，雷海俊，陆登程，
申请(专利权)人：霍浦科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：
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