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本发明属于定位测距领域，具体涉及一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，通过在半导体制造平台上同时安装绝对型磁编码器和增量型磁编码器，由绝对型磁编码器提供绝对位置数据，为增量型磁编码器提供稳定的参考位置，避免了回零操作，同时能够将绝对型编...
该专利属于霍浦科技（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍浦科技（宁波）有限公司授权不得商用。

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