【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体或光伏材料加工领域，具体涉及一种内炉管组件以及反应炉。
技术介绍
1、随着半导体或光伏材料加工技术的发展，部分化学气相沉积(chemical vapordeposition，cvd)设备采用双层炉管结构，即外炉管套装于内炉管之外，并将内炉管作为工艺腔室。但一体成型的内炉管在工艺上成型难度大，损坏时需要整体更换，导致设备成本高，从而无法广泛使用。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，提出了本申请。本申请实施例提供了一种内炉管组件以及反应炉。
2、第一方面，本申请一实施例提供了一种内炉管组件，应用于反应炉，反应炉包括外炉管和内炉管组件，外炉管套装于内炉管组件外，内炉管组件包括：侧板组件，具有组合状态和拆分状态，且包括至少两个子侧板，至少两个子侧板被配置为能够在组合状态下合围以形成反应炉的反应腔，组合状态下的侧板组件具有相对的第一端面开口和第二端面开口；层板，用于与组合状态下的侧板组件的第一端面开口连接，并封闭第一端面开口；其中，相邻的子侧板之间可拆卸连接，使得侧...
【技术保护点】
1.一种内炉管组件，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉包括外炉管和所述内炉管组件，所述外炉管套装于所述内炉管组件外，所述内炉管组件包括：
2.根据权利要求1所述的内炉管组件，其特征在于，所述子侧板包括至少两个环形的子侧板，至少两个所述环形的子侧板依次相邻设置，相邻的所述环形的子侧板的端面相连接。
3.根据权利要求2所述的内炉管组件，其特征在于，所述环形的子侧板包括：多个条形板，所述条形板包括沿所述条形板的延伸方向相对设置的第一端面和第二端面，以及连接所述第一端面和所述第二端面的第一侧面和第二侧面；
4.根据权利要求1所述的内炉管组...
【技术特征摘要】
1.一种内炉管组件，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉包括外炉管和所述内炉管组件，所述外炉管套装于所述内炉管组件外，所述内炉管组件包括：
2.根据权利要求1所述的内炉管组件，其特征在于，所述子侧板包括至少两个环形的子侧板，至少两个所述环形的子侧板依次相邻设置，相邻的所述环形的子侧板的端面相连接。
3.根据权利要求2所述的内炉管组件，其特征在于，所述环形的子侧板包括：多个条形板，所述条形板包括沿所述条形板的延伸方向相对设置的第一端面和第二端面，以及连接所述第一端面和所述第二端面的第一侧面和第二侧面；
4.根据权利要求1所述的内炉管组件，其特征在于，所述子...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，易术，王希望，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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