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本申请提供了一种内炉管组件以及反应炉,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了内炉管在工艺上成型难度大的技术问题。该内炉管组件包括:侧板组件,具有组合状态和拆分状态,且包括至少两个子侧板,至少两个子侧板被配置为能够在组合状态下合围以形成反应炉的...该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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