一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉制造技术

本申请涉及一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉，其包括包括支撑杆、落舟块以及引电连接线，两根所述支撑杆并排设置于所述石墨舟下方，且每根所述支撑杆的端部分别连接管式等离子体沉积炉的炉口法兰和炉尾法兰；至少一对所述落舟块套设于支撑杆上，所述落舟块用于导通所述石墨舟的舟角；所述引电连接线连接所述落舟块，所述引电连接线用于导通外部电源与落舟块。该机构采用石墨舟舟角放电方式，无需采用过长电极杆，避免了电极杆变形问题，降低了对石墨舟的进舟定位精度和重复性要求，提高了设备运行稳定。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏电池片制造设备，具体涉及一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉。

技术介绍

1、管式pe-poly(等离子体沉积炉)设备是一种高科技薄膜制备设备，广泛应用于半导体、光电子、信息存储、生物医学等领域。石墨舟是管式等离子体沉积炉的重要组成部分，其在管式等离子体沉积炉中作为反应承载体。目前现有管式等离子体沉积炉的石墨舟多采用插接式电极作为石墨舟的电极引入机构，例如炉尾电极，其采用一定长度的电极杆，其在尾部连接外部电源，在电极杆头部设有电极头，将电极头由炉口法兰或炉尾法兰伸入设备内部，使电极杆的电极头插接至石墨舟对应的进电接口，实现对石墨舟供电。但随着光伏电池片的更迭，石墨舟长度不断加长，管式等离子体沉积炉的真空反应腔室随之加长，而电极杆长度也随之增加，在管式等离子体沉积炉长期工作过程中，发现电极杆长度越长越易发生弯曲，电极杆的电极头会偏离石墨舟的进电接口，石墨舟供电不稳，生产质量下降。因此需对管式等离子体沉积炉中石墨舟的引电结构进行优化，以克服上述缺陷。

技术实现思路

1、为克服上述现有技术的不足，本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电极引入机构，用于外部电源与管式等离子体沉积炉的石墨舟(3)导通，其特征在于，所述电极引入机构包括支撑杆(4)、落舟块(6)以及引电连接线(7)，

2.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)位于石墨舟(3)的舟角下方，每对落舟块(6)分别导通一组石墨舟(3)的舟角。

3.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)设有两对，一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉口法兰(1)的外部电源，另一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉尾法兰(2)的外部电源。

4.根据权利要求1所述的电极引...

【技术特征摘要】

1.一种电极引入机构，用于外部电源与管式等离子体沉积炉的石墨舟(3)导通，其特征在于，所述电极引入机构包括支撑杆(4)、落舟块(6)以及引电连接线(7)，

2.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)位于石墨舟(3)的舟角下方，每对落舟块(6)分别导通一组石墨舟(3)的舟角。

3.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)设有两对，一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉口法兰(1)的外部电源，另一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉尾法兰(2)的外部电源。

4.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉尾法兰(2)上设有至少一对炉尾电极(10)，所述炉尾电极(10)用于将外部电源的电力由炉尾法兰(2)引入所述石墨舟(3)，所述炉尾电极(10)与所述引电连接线(7)连接。

5.根据权利要求1或4所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉口法兰(1)上设有至少一对炉口电极(8)，所述炉口电极(8)用于将外部电源的电力由炉口法兰(1)引入所述石墨舟(3)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉明，郭向阳，程海良，杨宝海，
申请(专利权)人：营口金辰机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：