【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏电池片制造设备，具体涉及一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉。
技术介绍
1、管式pe-poly(等离子体沉积炉)设备是一种高科技薄膜制备设备，广泛应用于半导体、光电子、信息存储、生物医学等领域。石墨舟是管式等离子体沉积炉的重要组成部分，其在管式等离子体沉积炉中作为反应承载体。目前现有管式等离子体沉积炉的石墨舟多采用插接式电极作为石墨舟的电极引入机构，例如炉尾电极，其采用一定长度的电极杆，其在尾部连接外部电源，在电极杆头部设有电极头，将电极头由炉口法兰或炉尾法兰伸入设备内部，使电极杆的电极头插接至石墨舟对应的进电接口，实现对石墨舟供电。但随着光伏电池片的更迭，石墨舟长度不断加长，管式等离子体沉积炉的真空反应腔室随之加长，而电极杆长度也随之增加，在管式等离子体沉积炉长期工作过程中，发现电极杆长度越长越易发生弯曲，电极杆的电极头会偏离石墨舟的进电接口，石墨舟供电不稳，生产质量下降。因此需对管式等离子体沉积炉中石墨舟的引电结构进行优化，以克服上述缺陷。
技术实现思路
1、为克服上述现有技术的不足，本申请提供了一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉，具体采用如下技术方案：
2、一种电极引入机构，用于外部电源与管式等离子体沉积炉的石墨舟导通，其特征在于，所述电极引入机构包括支撑杆、落舟块以及引电连接线，
3、两根所述支撑杆并排设置于所述石墨舟下方，且每根所述支撑杆的端部分别连接管式等离子体沉积炉的炉口法兰和炉尾法兰；至少一对所述落舟块套设于支撑杆上，所述落
4、该电极引入机构采用舟角放电方式，通过支撑杆上所套设的落舟块对石墨舟进行供电，在石墨舟装入过程中无需校对电极杆，仅需将石墨舟稳定放置于落舟块上即可实现石墨舟供电，降低了对石墨舟的进舟定位精度和重复性要求，使设备运行稳定。同时该支撑杆可提高对石墨舟的支撑强度，以避免高温下石墨舟的支撑结构发生变形，导致石墨舟破损。
5、可选的：所述落舟块位于石墨舟的舟角下方，每对落舟块分别导通一组石墨舟的舟角。
6、本申请一方面可通过落舟块支撑石墨舟，另一方面利用石墨舟可将外部电力导入石墨舟的舟角，实现对石墨舟供电。
7、可选的：所述落舟块设有两对，一对落舟块通过引电连接线连接位于所述炉口法兰的外部电源，另一对落舟块通过引电连接线连接位于所述炉尾法兰的外部电源。
8、本申请中设置有两对落舟块，对应的管式等离子体沉积炉内设有两组石墨舟，每对落舟块对应一组石墨舟，该管式等离子体沉积炉可分别通过炉口法兰和炉尾法兰向内部的石墨舟进行供电，进而提高石墨舟的生产效率。
9、可选的：所述炉尾法兰上设有至少一对炉尾电极，所述炉尾电极用于将外部电源的电力由炉尾法兰引入所述石墨舟，所述炉尾电极与位于所述炉尾法兰一端的引电连接线连接。本申请中所述炉尾电极可将外部电源的电力由所述炉尾法兰引入管式等离子体沉积炉内，并通过位于炉尾法兰一端的引电连接线将电力导通至落舟块，并由落舟块将电力导入石墨舟内，使石墨舟正常通电工作。
10、可选的：所述炉口法兰上设有至少一对炉口电极，所述炉口电极用于将外部电源的电力由炉口法兰引入所述石墨舟，所述炉口电极与位于所述炉口法兰一端的引电连接线连接。本申请中所述炉口电极可将外部电源的电力由所述炉口法兰引入管式等离子体沉积炉内，并通过位于炉口法兰一端的引电连接线将电力导通至落舟块，并由落舟块将电力导入石墨舟内，使石墨舟正常通电工作。
11、可选的：所述炉尾法兰位置设有电极支撑架，所述电极支撑架与所述炉尾法兰连接，所述电极支撑架用于固定引电连接线和炉尾电极。本申请中电极支撑架可将靠近炉尾法兰一端的引电连接线进行固定，以便于炉尾电极与引电连接线稳定连接，保证石墨舟供电稳定。
12、可选的：所述落舟块的顶部设有用于安放所述舟角的安装平面，所述落舟块的侧方设有接线极耳，所述接线极耳连接引电连接线。为保证石墨舟稳定放置于落舟块上，本申请在所述落舟块顶部设有安装平面，石墨舟的舟角稳定放置于安装平面上，同时落舟块侧方的接线极耳可连接引电连接线，外部电力通过引电连接线、接线极耳导通至落舟块上，并通过落舟块的安装平面导通石墨舟。
13、可选的：所述支撑杆上设有陶瓷套管，所述陶瓷套管用于保持落舟块与支撑杆绝缘。管式等离子体沉积炉进行工艺时，高温环境下支撑杆会导通，通过陶瓷套管可保持支撑杆与落舟块绝缘，进而避免高温环境下支撑杆造成短路。
14、此外本申请还公开有一种管式等离子体沉积炉，该设备内部设有如上述的电极引入机构。
15、可选的：所述炉尾法兰中部设有抽气口，所述抽气口用于连通外部真空泵，通过所述抽气口抽除管式等离子体沉积炉的气体。本申请中通过抽气口使真空反应腔室内气流更加匀称，提高石墨舟的成品质量。
16、有益效果
17、本申请的技术方案获得了下列有益效果：
18、(1)本申请的电极引入机构中通过改变传统石墨舟进电方式，将传统插式电极进电改为舟角放电方式，使得炉尾电极去除了石墨舟进电组装过程中校对电极杆的步骤，可避免炉尾电极杆过长，高温下弯曲变形，降低了对石墨舟的进舟定位精度和重复性要求，提高了设备运行稳定。
19、(2)本申请的电极引入机构依附于石墨舟下方并排设置的两根支撑杆，而采用碳化硅杆的支撑杆可提高石墨舟支撑强度，避免了高温条件下支撑杆发生变形，进而避免石墨舟下方支撑不稳发生破损；此外在石墨舟进舟过程中，一般须通过特制桨按照固定方向将石墨舟向设备内推动，由于石墨舟支撑强度获得提高，石墨舟下方支撑机构不会变形，使得特制桨在推动过程，推力始终保持同一方向，可避免推力方向变化导致特制桨断裂。
20、(3)本申请的管式等离子体沉积炉中位于炉尾法兰的抽气口可设置于炉尾法兰中间位置，使真空反应腔室内气流更加匀称，提高石墨舟的成品质量。
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1.一种电极引入机构，用于外部电源与管式等离子体沉积炉的石墨舟(3)导通，其特征在于，所述电极引入机构包括支撑杆(4)、落舟块(6)以及引电连接线(7)，
2.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)位于石墨舟(3)的舟角下方，每对落舟块(6)分别导通一组石墨舟(3)的舟角。
3.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)设有两对，一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉口法兰(1)的外部电源，另一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉尾法兰(2)的外部电源。
4.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉尾法兰(2)上设有至少一对炉尾电极(10)，所述炉尾电极(10)用于将外部电源的电力由炉尾法兰(2)引入所述石墨舟(3)，所述炉尾电极(10)与所述引电连接线(7)连接。
5.根据权利要求1或4所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉口法兰(1)上设有至少一对炉口电极(8)，所述炉口电极(8)用于将外部电源的电力由炉口法兰(1)引入所述石墨舟(3)，所述炉口电极
6.根据权利要求4所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉尾法兰(2)设有电极支撑架(9)，所述电极支撑架(9)与所述炉尾法兰(2)连接，所述电极支撑架(9)用于固定引电连接线(7)和炉尾电极(10)。
7.根据权利要求1-3任一项所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)的顶部设有用于安放所述舟角的安装平面，所述落舟块(6)的侧方设有接线极耳，所述接线极耳连接引电连接线(7)。
8.根据权利要求1-3任一项所述的电极引入机构，其特征在于，所述支撑杆(4)上设有陶瓷套管(5)，所述陶瓷套管(5)用于保持石墨舟(3)水平。
9.一种管式等离子体沉积炉，包括炉口法兰(1)和炉尾法兰(2)，其特征在于，所述管式等离子体沉积炉内部设有如权利要求1-8任一项所述的电极引入机构。
10.根据权利要求9所述的管式等离子体沉积炉，其特征在于，所述炉尾法兰(2)上设有抽气口(201)，所述抽气口(201)用于连通外部真空泵，通过所述抽气口(201)抽除管式等离子体沉积炉的气体。
...【技术特征摘要】
1.一种电极引入机构，用于外部电源与管式等离子体沉积炉的石墨舟(3)导通，其特征在于，所述电极引入机构包括支撑杆(4)、落舟块(6)以及引电连接线(7)，
2.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)位于石墨舟(3)的舟角下方，每对落舟块(6)分别导通一组石墨舟(3)的舟角。
3.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述落舟块(6)设有两对，一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉口法兰(1)的外部电源，另一对落舟块(6)通过引电连接线(7)连接位于所述炉尾法兰(2)的外部电源。
4.根据权利要求1所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉尾法兰(2)上设有至少一对炉尾电极(10)，所述炉尾电极(10)用于将外部电源的电力由炉尾法兰(2)引入所述石墨舟(3)，所述炉尾电极(10)与所述引电连接线(7)连接。
5.根据权利要求1或4所述的电极引入机构，其特征在于，所述炉口法兰(1)上设有至少一对炉口电极(8)，所述炉口电极(8)用于将外部电源的电力由炉口法兰(1)引入所述石墨舟(3)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉明，郭向阳，程海良，杨宝海，
申请(专利权)人：营口金辰机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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