下载一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉的技术资料

文档序号:43536200

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本申请涉及一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉,其包括包括支撑杆、落舟块以及引电连接线,两根所述支撑杆并排设置于所述石墨舟下方,且每根所述支撑杆的端部分别连接管式等离子体沉积炉的炉口法兰和炉尾法兰;至少一对所述落舟块套设于支撑杆上,所述落舟...
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