一种微机电声波谐振器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种微机电声波谐振器，属于射频微机电系统领域。包括：支撑台，其中心形成空腔；谐振体，由谐振基底上设置压电薄膜，所述压电薄膜上设有外接输入电极和外接输出电极组成，悬置于所述空腔上方，其上下表面为蝴蝶形结构和鼓形结构相结合的结构；所述外接输入电极贴合压电薄膜、所述外接输出电极贴合压电薄膜分别从所述蝴蝶形结构中的两个翅膀凹陷处向所述支撑台非空腔部分的方向延伸，直至贴合于所述支撑台非空腔部分的上表面，使得所述谐振器悬于所述支撑台的空腔之上。本发明专利技术通过设置谐振体形状为蝴蝶形和鼓形结构相结合，相比现有技术中长方体结构能够使谐振体内存储更多的能量，减小谐振器的能量损耗，提高谐振器的品质因数。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及射频微机电系统领域，特别涉及一种微机电声波谐振器及其制备方法。

技术介绍

1、射频微机电系统(micro-electro-mechanical systems，mems)技术是一种集成微型机械和电子元件的技术。mems技术在制造微型机械系统时具有独特的优势，例如体积小、低功耗和高灵敏度。在无线通信系统中，前端处理的射频信号的电路尺寸必须与信号的波长相当。为了实现射频前端的小型化，近年来广泛采用了基于射频rf-mems工艺的声学器件。这些器件能将电磁波信号转换为机械波信号，从而大大减小器件体积。

2、目前，研究较多的声学器件主要分为声表面波(surface acoustic wave，saw)器件和体声波(bulk acoustic wave，baw)器件两大类。体声波与声表面波最大的不同是它在器件的内部传播而不是表面。由于体声波的能量被限制在压电层附近且与外界保持声学隔离，所以通常体声波器件的品质因数(q)会优于声表面波器件。另外，体声波器件通常具有更高的功率容量，因为振动对其影响较小。因此，通常采用体声波器件制作谐振器。

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【技术保护点】

1.一种微机电声波谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述外接输入电极(2)和外接输出电极(3)的延伸部分对称设置在所述支撑台(1)顶端的两侧，同时与支撑台贴合部分的两侧均对称设置有外接地电极(10)。

3.根据权利要求1所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述谐振体(6)上下表面的一对应边为半椭圆形的鼓形结构(4)，另一对应边为具有椭圆形蝴蝶翅膀或三角形蝴蝶翅膀的蝴蝶结构(5)。

4.根据权利要求3所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述鼓形结构(4)的半椭圆的短半轴长度为0.01um≤h≤100um；所...

【技术特征摘要】

1.一种微机电声波谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述外接输入电极(2)和外接输出电极(3)的延伸部分对称设置在所述支撑台(1)顶端的两侧，同时与支撑台贴合部分的两侧均对称设置有外接地电极(10)。

3.根据权利要求1所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述谐振体(6)上下表面的一对应边为半椭圆形的鼓形结构(4)，另一对应边为具有椭圆形蝴蝶翅膀或三角形蝴蝶翅膀的蝴蝶结构(5)。

4.根据权利要求3所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述鼓形结构(4)的半椭圆的短半轴长度为0.01um≤h≤100um；所述具有三角形蝴蝶翅膀的蝴蝶形结构(5)中，三角形角度为0°到90°。

5.根据权利要求1所述的微机电声波谐振器，其特征在于：所述支撑台(1)朝向所述谐振体(6)端由上到下依次设置为支撑基底(1-3)、第一埋氧化层(1-2)和衬底(1-1)。

6.根据权利要求5所述的微...

【专利技术属性】
技术研发人员：张巧珍，李绪成，鲍飞鸿，赵祥永，王飞飞，王心怡，陈婕，
申请(专利权)人：上海师范大学，
类型：发明
国别省市：