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本发明公开了一种微机电声波谐振器，属于射频微机电系统领域。包括：支撑台，其中心形成空腔；谐振体，由谐振基底上设置压电薄膜，所述压电薄膜上设有外接输入电极和外接输出电极组成，悬置于所述空腔上方，其上下表面为蝴蝶形结构和鼓形结构相结合的结构；所...
该专利属于上海师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海师范大学授权不得商用。

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