【技术实现步骤摘要】
本技术涉及法兰，尤其涉及一种复合cf法兰以及半导体工艺腔体。
技术介绍
1、cf法兰，即conflat法兰，是一种可拆卸的，能承受高温烘烤的金属静密封法兰，部分cf法兰的内圈有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈或其他软金属使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中，用于连接和密封不同部件，例如真空室、阀门、泵等。
2、当前超高真空系统中的密封仓、罐体或者管道等基体的内部形成工艺腔体，大量的基体为铝材质，cf法兰用于超高真空系统中时，cf法兰需要通过焊接的方式连接于基体的开口处，由于cf法兰需要与基体内部的工艺气体接触，为了保证cf法兰的耐腐蚀性能，cf法兰一般采用不锈钢材质。
3、由于不锈钢和铝的化学性质和物理特性不同，若要将不锈钢材质的cf法兰与铝材质的基体进行焊接，在焊接前需要材料进行去除氧化物和油污等处理，在焊接过程中不仅要精确掌控温度和热量，还需要用铝钎料等焊接材料，导致焊接较为不便；且cf法兰与基体的焊接处需承受较大的压力，超高真空系统在使用过程中，cf法兰与基体的焊接处容易出现焊接失效的情况，导致cf法兰与基体的连接不可靠，具有一定的生产隐患。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种复合cf法兰以及半导体工艺腔体，以提升cf法兰与基体连接的可靠性，提升cf法兰工作的稳定性。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、复合cf法兰，所述复合cf法兰包括：
4、第一法兰
5、第二法兰，所述第二法兰叠合于所述第一法兰的一侧，所述第二法兰与所述第一法兰同轴设置，所述第二法兰的材质为抗腐蚀金属，所述第二法兰与所述第一法兰固定连接；
6、所述第二法兰背离所述第一法兰的表面设置有密封腔，所述密封腔内部设置有环刃，所述环刃与所述第二法兰同轴设置，所述环刃的刃口背离所述第一法兰设置。
7、作为优选，所述环刃的径向横截面呈三角形设置，所述刃口位于三角形的顶角处。
8、作为优选，所述密封腔呈环形设置，并与所述第二法兰同轴设置。
9、作为优选，所述密封腔远离其开口的内壁上开设有密封槽，所述密封槽呈环形设置，所述密封槽位于所述环刃的外圈。
10、作为优选，所述密封槽的槽底呈弧形设置。
11、作为优选，所述第一法兰的内圈背离所述第二法兰的一侧设置有定位槽。
12、作为优选，所述定位槽呈环形设置，并与所述第一法兰同轴设置。
13、作为优选，所述第一法兰的材质为铝。
14、作为优选，所述第二法兰的材质为不锈钢。
15、半导体工艺腔体，包括腔体本体以及复合cf法兰，所述复合cf法兰焊接于所述腔体本体的开口处。
16、本技术的有益效果：
17、本技术的复合cf法兰，通过将第二法兰叠合于第一法兰，并选用跟基体的材质相同的第一法兰，从而可使第一法兰稳定焊接于基体上，使基体与第一法兰连接稳定，不易发生焊接失效等现象；同时利用抗腐蚀金属制成的第二法兰提升复合cf法兰的耐腐蚀性能，由于复合cf法兰在使用时，一般通过螺栓螺母将两个复合cf法兰进行连接，因此第一法兰和第二法兰在工作过程中始终受到螺栓螺母的锁紧力，不易产生连接失效，导致第一法兰和第二法兰分离，因此大幅提升了复合cf法兰的工作稳定性，确保超高真空系统正常运行。
18、本技术的半导体工艺腔体，通过在腔体本体的开口处焊接复合cf法兰，使得腔体本体与复合cf法兰连接稳定，提升半导体工艺腔体工作的稳定性。
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1.复合CF法兰，其特征在于，所述复合CF法兰包括：
2.根据权利要求1所述的复合CF法兰，其特征在于，所述环刃(3)的径向横截面呈三角形设置，所述刃口(31)位于三角形的顶角处。
3.根据权利要求1所述的复合CF法兰，其特征在于，所述密封腔(21)呈环形设置，并与所述第二法兰(2)同轴设置。
4.根据权利要求1所述的复合CF法兰，其特征在于，所述密封腔(21)远离其开口的内壁上开设有密封槽(22)，所述密封槽(22)呈环形设置，所述密封槽(22)位于所述环刃(3)的外圈。
5.根据权利要求4所述的复合CF法兰，其特征在于，所述密封槽(22)的槽底呈弧形设置。
6.根据权利要求1所述的复合CF法兰，其特征在于，所述第一法兰(1)的内圈背离所述第二法兰(2)的一侧设置有定位槽(11)。
7.根据权利要求6所述的复合CF法兰，其特征在于，所述定位槽(11)呈环形设置，并与所述第一法兰(1)同轴设置。
8.根据权利要求1所述的复合CF法兰，其特征在于，所述第一法兰(1)的材质为铝。
9.根据
10.半导体工艺腔体，包括腔体本体，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一项所述的复合CF法兰，所述复合CF法兰焊接于所述腔体本体的开口处。
...【技术特征摘要】
1.复合cf法兰，其特征在于，所述复合cf法兰包括：
2.根据权利要求1所述的复合cf法兰，其特征在于，所述环刃(3)的径向横截面呈三角形设置，所述刃口(31)位于三角形的顶角处。
3.根据权利要求1所述的复合cf法兰，其特征在于，所述密封腔(21)呈环形设置，并与所述第二法兰(2)同轴设置。
4.根据权利要求1所述的复合cf法兰，其特征在于，所述密封腔(21)远离其开口的内壁上开设有密封槽(22)，所述密封槽(22)呈环形设置，所述密封槽(22)位于所述环刃(3)的外圈。
5.根据权利要求4所述的复合cf法兰，其特征在于，所述密封槽(22)的槽底呈弧形设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭卫强，王梦蝶，
申请(专利权)人：昆山新莱洁净应用材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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