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本技术属于法兰技术领域，公开了一种复合CF法兰以及半导体工艺腔体，复合CF法兰包括第一法兰以及第二法兰，第一法兰能够焊接于基体的开口处，第一法兰的材质与基体的材质相同；第二法兰叠合于第一法兰的一侧，第二法兰与第一法兰同轴设置，第二法兰的材质...
该专利属于昆山新莱洁净应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山新莱洁净应用材料股份有限公司授权不得商用。

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