【技术实现步骤摘要】
本申请涉及阀门，尤其是涉及一种密封式换向阀。
技术介绍
1、在半导体行业，换向阀的应用既广泛又关键，它能够改变流体（气体或液体）的流动路径，以实现流体在不同通道之间的切换，从而保障气体供应的稳定性与一致性。
2、然而，由于半导体行业所涉及的特气多为剧毒气体，对密封性能有着极为严苛的要求，传统的换向阀难以满足上述的密封要求。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本申请提供一种密封性能好的密封式换向阀。
2、本申请提供的一种密封式换向阀采用如下技术方案：
3、一种密封式换向阀，包括阀座、开设于所述阀座内的阀腔、沿其自身轴向可滑动的设于所述阀腔内的阀杆、用于驱动所述阀杆滑动的执行组件，所述阀座上开设有与所述阀腔连通的流体进口、第一流体出口和第二流体出口，所述执行组件包括插设于所述阀腔中的驱动轴，所述驱动轴与所述阀杆同轴连接，所述驱动轴上设置有安装盘，所述安装盘位于所述阀腔中，所述阀腔中内接有安装环，所述驱动轴上套设有可伸缩的弹性护管，所述弹性护管的一端套设于所述安装盘上、另一端插设于所述安装环中。
4、通过采用上述技术方案，使得弹性护管能够与安装盘和安装环相配合以实现对阀腔的有效密封，避免阀腔内的气体向外泄漏；同时，可伸缩的弹性护管不仅不会对驱动轴的移动造成干涉，而且其还能够通过自身的伸缩性有效的适应温度变化和压力波动，以在换向阀的使用过程中持续保持良好的密封性能。
5、优选的，所述弹性护管包括波纹状的管本体、设于所述管本
6、通过采用上述技术方案，不仅能够提高弹性护管与安装盘之间的连接强度，而且还增加了安装盘与弹性护管之间的接触面积，避免弹性护管在安装盘的挤压下发生损坏；同时，将第一连接环嵌设于第一限位槽中，还能够避免弹性护管在伸缩的过程中发生扭转而影响其密封效果。
7、优选的，所述管本体的另一端设置有第二连接环，所述第二连接环插设于所述安装环中，所述安装环内环设有第二限位环，所述第二限位环抵触于所述管本体的内侧端壁上，所述第二限位环与所述安装环之间形成有第二限位槽，所述第二连接环嵌设于所述第二限位槽中。
8、通过采用上述技术方案，不仅能够提高弹性护管与安装环之间的连接强度，而且还增加了安装环与弹性护管之间的接触面积，避免弹性护管在安装环的挤压下发生损坏；同时，将第二连接环嵌设于第二限位槽中，其能够与第一限位槽相配合，避免弹性护管在伸缩的过程中发生扭转而影响其密封效果。
9、优选的，所述密封式换向阀还包括内接于所述阀腔中的阀芯、开设于所述阀芯内的阀槽，所述阀杆可滑动的穿设于所述阀槽中，所述阀杆上套设有导向环，所述导向环的外壁设置有至少一个第一导向平面，所述第一导向平面沿着所述阀槽的轴向延伸，所述第一导向平面的两侧分别具有第一抵触端，两个所述的第一抵触端均与所述阀槽的槽壁相抵触。
10、通过采用上述技术方案，使得阀杆能够在第一导向平面的作用下与阀槽之间保持相对稳定的直线运动，避免阀杆在运动过程中发生晃动或偏移，提高了阀门的密封性能和使用寿命。
11、优选的，所述驱动轴靠近所述阀杆的一端外壁设置有至少一个第二导向平面，所述第二导向平面沿着所述阀槽的轴向延伸，所述第二导向平面与所述第一导向平面成角度设置，所述第二导向平面的两侧分别具有第二抵触端，两个所述的第二抵触端均与所述阀槽的槽壁相抵触。
12、通过采用上述技术方案，使得阀杆能够在第一导向平面和第二导向平面的配合下与阀槽之间保持相对稳定的直线运动，避免阀杆在运动过程中发生晃动或偏移，提高了阀门的密封性能和使用寿命。
13、优选的，所述导向环的外径沿着所述阀杆的轴向逐渐增大或减小，所述阀槽的内壁绕其自身周向开设有多个第三限位槽，每个所述的第三限位槽中分别设置有可伸缩的限位块，所述限位块靠近所述阀杆的一侧具有限位面，所述限位面倾斜设置且与所述导向环的外壁相匹配贴合。
14、通过采用上述技术方案，使得阀杆能够在多个限位块的配合下保持相对稳定的直线运动，进一步避免了阀杆在运动过程中发生晃动或偏移；同时，多个限位块还能够承托于导向环的周侧，以提高阀杆的运动稳定性。
15、优选的，所述阀腔包括用于容置所述阀芯的第一腔室、位于所述第一腔室一端的第二腔室、位于所述第一腔室另一端的第三腔室，所述弹性护管设置于所述第二腔室中，所述阀槽靠近所述第二腔室的一端具有供所述驱动轴插入的第一槽口，所述阀槽靠近所述第三腔室的一端具有与所述第三腔室连通的第二槽口，所述流体进口和所述第一流体出口均与所述第三腔室连通，所述第二流体出口与所述阀槽连通，所述阀杆具有穿出所述第二槽口的杆头，所述杆头在所述阀杆的滑动行程中分别能够遮挡于所述第二槽口上，或脱离所述第二槽口并遮挡于所述第一流体出口上。
16、通过采用上述技术方案，使得杆头能够在阀杆的运动过程中快速且精准的实现流体在第一流体出口和第二流体出口之间的流向切换。
17、优选的，所述阀槽的槽壁上开设有第一连通口，所述第二流体出口与所述第一连通口连通，所述阀杆上沿其径向贯穿开设有第二连通口，当所述杆头遮挡于所述第一流体出口上时，所述第二连通口与所述第一连通口正位对接。
18、通过采用上述技术方案，使得第二连通口仅在第一流体出口被遮挡时方能够与第二流体出口接通，避免因第一流体出口和第二流体出口同时接通而对气体的流动造成影响。
19、优选的，所述阀杆上还开设有对接槽，所述对接槽同轴环绕于所述第二连通口的周侧，所述对接槽中设置有可伸缩的对接管，当所述第二连通口与所述第一连通口正位对接时，所述对接管插设于所述第一连通口中。
20、通过采用上述技术方案，使得气体能够通过对接管直接进入第一连通口内部，避免气体在第二连通口和第一连通口之间流动时向外逸散。
21、优选的，所述执行组件包括执行座、开设于所述执行座内的执行腔、沿着所述执行腔的轴向可滑动的设于所述执行腔中的活塞、开设于所述执行座上的输气口，所述执行腔的轴向与所述阀腔的轴向一致，所述驱动轴远离所述阀杆的一端与所述活塞同轴连接，所述执行腔包括分别位于所述活塞两侧的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置有弹性件，所述第二腔体与所述输气口连通。
22、通过采用上述技术方案，使得活塞能够在输气口和弹簧的配合下实现往复运动，以带动阀杆运动，其能够快速、精确地响应控制信号，实现气体流向的瞬间切换。
23、综上所述，本专利技术包括以下至少一种有益技术效果：
24、1．弹性护管能够与安装盘和安装环相配合以实现对阀腔的有效密封，避免阀腔内的气体向外泄漏；
25、2．可伸缩的弹性护管不仅不会对驱动轴的移动造成干涉，而且其还能够通本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种密封式换向阀，包括阀座(1)、开设于所述阀座(1)内的阀腔(2)、沿其自身轴向可滑动的设于所述阀腔(2)内的阀杆(3)、用于驱动所述阀杆(3)滑动的执行组件(4)，所述阀座(1)上开设有与所述阀腔(2)连通的流体进口(5)、第一流体出口(6)和第二流体出口(7)，其特征在于：所述执行组件(4)包括插设于所述阀腔(2)中的驱动轴(4a)，所述驱动轴(4a)与所述阀杆(3)同轴连接，所述驱动轴(4a)上设置有安装盘(8)，所述安装盘(8)位于所述阀腔(2)中，所述阀腔(2)中内接有安装环(9)，所述驱动轴(4a)上套设有可伸缩的弹性护管(10)，所述弹性护管(10)的一端套设于所述安装盘(8)上、另一端插设于所述安装环(9)中。
2.根据权利要求1所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述弹性护管(10)包括波纹状的管本体(10a)、设于所述管本体(10a)一端的第一连接环(10b)，所述第一连接环(10b)套设于所述安装盘(8)上，所述安装盘(8)上环设有第一限位环(11)，所述第一限位环(11)抵触于所述管本体(10a)的外侧端壁上，所述第一限位环(11)与所述
3.根据权利要求2所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述管本体(10a)的另一端设置有第二连接环(10c)，所述第二连接环(10c)插设于所述安装环(9)中，所述安装环(9)内环设有第二限位环(13)，所述第二限位环(13)抵触于所述管本体(10a)的内侧端壁上，所述第二限位环(13)与所述安装环(9)之间形成有第二限位槽(14)，所述第二连接环(10c)嵌设于所述第二限位槽(14)中。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述密封式换向阀还包括内接于所述阀腔(2)中的阀芯(15)、开设于所述阀芯(15)内的阀槽(16)，所述阀杆(3)可滑动的穿设于所述阀槽(16)中，所述阀杆(3)上套设有导向环(17)，所述导向环(17)的外壁设置有至少一个第一导向平面(17a)，所述第一导向平面(17a)沿着所述阀槽(16)的轴向延伸，所述第一导向平面(17a)的两侧分别具有第一抵触端(17b)，两个所述的第一抵触端(17b)均与所述阀槽(16)的槽壁相抵触。
5.根据权利要求4所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述驱动轴(4a)靠近所述阀杆(3)的一端外壁设置有至少一个第二导向平面(4a1)，所述第二导向平面(4a1)沿着所述阀槽(16)的轴向延伸，所述第二导向平面(4a1)与所述第一导向平面(17a)成角度设置，所述第二导向平面(4a1)的两侧分别具有第二抵触端(4a2)，两个所述的第二抵触端(4a2)均与所述阀槽(16)的槽壁相抵触。
6.根据权利要求4所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述导向环(17)的外径沿着所述阀杆(3)的轴向逐渐增大或减小，所述阀槽(16)的内壁绕其自身周向开设有多个第三限位槽(18)，每个所述的第三限位槽(18)中分别设置有可伸缩的限位块(19)，所述限位块(19)靠近所述阀杆(3)的一侧具有限位面(19a)，所述限位面(19a)倾斜设置且与所述导向环(17)的外壁相匹配贴合。
7.根据权利要求4所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述阀腔(2)包括用于容置所述阀芯(15)的第一腔室(2a)、位于所述第一腔室(2a)一端的第二腔室(2b)、位于所述第一腔室(2a)另一端的第三腔室(2c)，所述弹性护管(10)设置于所述第二腔室(2b)中，所述阀槽(16)靠近所述第二腔室(2b)的一端具有供所述驱动轴(4a)插入的第一槽口(16a)，所述阀槽(16)靠近所述第三腔室(2c)的一端具有与所述第三腔室(2c)连通的第二槽口(16b)，所述流体进口(5)和所述第一流体出口(6)均与所述第三腔室(2c)连通，所述第二流体出口(7)与所述阀槽(16)连通，所述阀杆(3)具有穿出所述第二槽口(16b)的杆头(3a)，所述杆头(3a)在所述阀杆(3)的滑动行程中分别能够遮挡于所述第二槽口(16b)上，或脱离所述第二槽口(16b)并遮挡于所述第一流体出口(6)上。
8.根据权利要求7所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述阀槽(16)的槽壁上开设有第一连通口(16c)，所述第二流体出口(7)与所述第一连通口(16c)连通，所述阀杆(3)上沿其径向贯穿开设有第二连通口(20)，当所述杆头(3a)遮挡于所述第一流体出口(6)上时，所述第二连通口(20)与所述第一连通口(16c)正位对接。
9.根据权利要求8所述的一种密封式换向阀，...
【技术特征摘要】
1.一种密封式换向阀，包括阀座(1)、开设于所述阀座(1)内的阀腔(2)、沿其自身轴向可滑动的设于所述阀腔(2)内的阀杆(3)、用于驱动所述阀杆(3)滑动的执行组件(4)，所述阀座(1)上开设有与所述阀腔(2)连通的流体进口(5)、第一流体出口(6)和第二流体出口(7)，其特征在于：所述执行组件(4)包括插设于所述阀腔(2)中的驱动轴(4a)，所述驱动轴(4a)与所述阀杆(3)同轴连接，所述驱动轴(4a)上设置有安装盘(8)，所述安装盘(8)位于所述阀腔(2)中，所述阀腔(2)中内接有安装环(9)，所述驱动轴(4a)上套设有可伸缩的弹性护管(10)，所述弹性护管(10)的一端套设于所述安装盘(8)上、另一端插设于所述安装环(9)中。
2.根据权利要求1所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述弹性护管(10)包括波纹状的管本体(10a)、设于所述管本体(10a)一端的第一连接环(10b)，所述第一连接环(10b)套设于所述安装盘(8)上，所述安装盘(8)上环设有第一限位环(11)，所述第一限位环(11)抵触于所述管本体(10a)的外侧端壁上，所述第一限位环(11)与所述安装盘(8)之间形成有第一限位槽(12)，所述第一连接环(10b)嵌设于所述第一限位槽(12)中。
3.根据权利要求2所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述管本体(10a)的另一端设置有第二连接环(10c)，所述第二连接环(10c)插设于所述安装环(9)中，所述安装环(9)内环设有第二限位环(13)，所述第二限位环(13)抵触于所述管本体(10a)的内侧端壁上，所述第二限位环(13)与所述安装环(9)之间形成有第二限位槽(14)，所述第二连接环(10c)嵌设于所述第二限位槽(14)中。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述密封式换向阀还包括内接于所述阀腔(2)中的阀芯(15)、开设于所述阀芯(15)内的阀槽(16)，所述阀杆(3)可滑动的穿设于所述阀槽(16)中，所述阀杆(3)上套设有导向环(17)，所述导向环(17)的外壁设置有至少一个第一导向平面(17a)，所述第一导向平面(17a)沿着所述阀槽(16)的轴向延伸，所述第一导向平面(17a)的两侧分别具有第一抵触端(17b)，两个所述的第一抵触端(17b)均与所述阀槽(16)的槽壁相抵触。
5.根据权利要求4所述的一种密封式换向阀，其特征在于：所述驱动轴(4a)靠近所述阀杆(3)的一端外壁设置有至少一个第二导向平面(4a1)，所述第二导向平面(4a1)沿着所述阀槽(16)的轴向延伸，所述第二导向平面(4a1)与所述第一导向平面(17a)成角度设置，所述第二导向平面(4a1)的两侧分别具有第二抵触端(4a2)，两个所述的第二抵触端(4a2)均与所述阀槽(16)的槽壁相抵触。
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文博，聂敏，
申请(专利权)人：昆山新莱洁净应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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