【技术实现步骤摘要】
本技术涉及阀门，尤其涉及一种真空蝶阀以及半导体工艺腔体。
技术介绍
1、蝶阀是指关闭件为圆盘，且关闭件围绕阀轴旋转来达到开启与关闭的一种阀，常用于半导体工艺腔体中，作为气体介质调节流量或切断装置。蝶阀的关闭件一般称为蝶板。
2、当应用在半导体真空腔体中时，蝶阀可以用于控制工艺气体的流动和维持所需的真空环境。这就需要精确控制蝶阀的开度，即蝶板的转动角度需要在0-90度之间精确调节，当前的蝶板通过伺服电机直接驱动其转动，具体地，伺服电机的电机轴同轴连接于蝶阀的阀杆上，当伺服电机的电机轴转动时，蝶板则跟随伺服电机的电机轴转动相同的角度。但当前高精度的伺服电机不仅价格高，且高精度伺服电机的精度还受到编码器的精度、伺服电机的机械结构精度以及供电电压的稳定性等多要素影响，稳定性不佳。
3、因此，上述问题亟待解决。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种真空蝶阀以及半导体工艺腔体，在控制生产成本的情况下实现蝶板转动角度的精确控制。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、真空蝶阀，包括阀体、阀杆、蝶板以及驱动机构，所述阀体呈圆筒形，所述蝶板内置于所述阀体，所述阀杆转动穿设于阀体，所述阀杆与所述蝶板连接，所述驱动机构连接于所述阀杆，所述驱动机构包括：
4、驱动箱，所述驱动箱连接于所述阀体；
5、驱动电机，所述驱动电机连接于所述驱动箱；
6、第一传动组件，所述第一传动组件的输入端连接于所述驱动电机的电机轴，
7、第二传动组件，所述第二传动组件的输入端连接于所述第一传动组件的输出端，所述第二传动组件的输出端连接于所述阀杆，所述第二传动组件被配置为将所述第一传动组件输出的直线运动转换为圆周运动，并输出至所述阀杆，所述第二传动组件能够减速，使所述阀杆的转速小于所述电机轴的转速。
8、作为优选，所述第一传动组件包括：
9、曲柄，所述曲柄的一端连接于所述电机轴，所述电机轴的轴向为第一方向；以及
10、驱动板，所述驱动板滑动连接于所述驱动箱内部，所述驱动板沿垂直于所述第一方向的第二方向滑动，所述曲柄的另一端滑动连接于所述驱动板，所述曲柄的另一端可相对于所述驱动板沿第三方向滑动，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。
11、作为优选，所述驱动板上沿所述第三方向设置有限位槽，所述曲柄的另一端设置有限位头，所述限位头能够在所述限位槽内部运动。
12、作为优选，所述限位头的外部套设有轴承，所述轴承能够在所述限位槽内部运动。
13、作为优选，所述驱动箱内部设置有限位杆，所述限位杆沿所述第二方向设置，所述限位杆滑动穿设所述驱动板。
14、作为优选，所述驱动板上设置有延长管，所述延长管套设于所述限位杆外部。
15、作为优选，所述第二传动组件包括：
16、齿条，所述齿条连接于所述驱动板，所述齿条沿平行于所述第二方向的方向设置；以及
17、齿轮，所述齿轮的轴线平行于所述第一方向，所述齿轮啮合于所述齿条，所述齿轮同轴连接于所述阀杆。
18、作为优选，所述驱动箱远离所述阀体的一侧敞开设置，并盖设有电机底座，所述驱动电机连接于所述电机底座。
19、半导体工艺腔体，包括腔体本体，所述腔体本体通过管道连通于真空泵，所述半导体工艺腔体还包括真空蝶阀，所述真空蝶阀设置于所述管道。
20、作为优选，所述半导体工艺腔体还包括控制模块，所述控制模块包括能够检测所述腔体本体的内部压力的检测部，以及分别与所述检测部和所述驱动电机电性连接的控制部。
21、本技术的有益效果：
22、本技术的真空蝶阀，通过第一传动组件和第二传动组件将驱动电机输出的动力传递至阀杆，通过改变两次运动方式，最终不仅输出驱动阀杆转动的圆周运动，且具有一定的减速效果，使阀杆转速小于电机轴的转速，以使开闭真空蝶阀时，需要电机轴的转动角度大于阀杆的转动角度，从而可采用精度更低的驱动电机驱动阀杆转动，在实现相同控制精度的同时，成本更加低廉，且驱动电机的精度有所降低，可使驱动电机工作更加稳定，不易受到其他因素的影响。
23、本技术的半导体工艺腔体，通过在腔体本体连通真空泵的管道设置真空蝶阀，从而方便根据腔体本体的内部压力实时精确调节真空蝶阀的开度，使腔体本体内部尽快达到设定压力。
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1.真空蝶阀，包括阀体(1)、阀杆(2)、蝶板(3)以及驱动机构，所述阀体(1)呈圆筒形，所述蝶板(3)内置于所述阀体(1)，所述阀杆(2)转动穿设于阀体(1)，所述阀杆(2)与所述蝶板(3)连接，所述驱动机构连接于所述阀杆(2)，其特征在于，所述驱动机构包括：
2.根据权利要求1所述的真空蝶阀，其特征在于，所述第一传动组件(6)包括：
3.根据权利要求2所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动板(62)上沿所述第三方向设置有限位槽(621)，所述曲柄(61)的另一端设置有限位头(611)，所述限位头(611)能够在所述限位槽(621)内部运动。
4.根据权利要求3所述的真空蝶阀，其特征在于，所述限位头(611)的外部套设有轴承(612)，所述轴承(612)能够在所述限位槽(621)内部运动。
5.根据权利要求3所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动箱(4)内部设置有限位杆(41)，所述限位杆(41)沿所述第二方向设置，所述限位杆(41)滑动穿设所述驱动板(62)。
6.根据权利要求5所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动板(6
7.根据权利要求2所述的真空蝶阀，其特征在于，所述第二传动组件(7)包括：
8.根据权利要求1-7任一项所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动箱(4)远离所述阀体(1)的一侧敞开设置，并盖设有电机底座(42)，所述驱动电机(5)连接于所述电机底座(42)。
9.半导体工艺腔体，包括腔体本体，所述腔体本体通过管道连通于真空泵，其特征在于，所述半导体工艺腔体还包括如权利要求1-8任一项所述的真空蝶阀，所述真空蝶阀设置于所述管道。
10.根据权利要求9所述的半导体工艺腔体，其特征在于，所述半导体工艺腔体还包括控制模块，所述控制模块包括能够检测所述腔体本体的内部压力的检测部，以及分别与所述检测部和所述驱动电机电性连接的控制部。
...【技术特征摘要】
1.真空蝶阀，包括阀体(1)、阀杆(2)、蝶板(3)以及驱动机构，所述阀体(1)呈圆筒形，所述蝶板(3)内置于所述阀体(1)，所述阀杆(2)转动穿设于阀体(1)，所述阀杆(2)与所述蝶板(3)连接，所述驱动机构连接于所述阀杆(2)，其特征在于，所述驱动机构包括：
2.根据权利要求1所述的真空蝶阀，其特征在于，所述第一传动组件(6)包括：
3.根据权利要求2所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动板(62)上沿所述第三方向设置有限位槽(621)，所述曲柄(61)的另一端设置有限位头(611)，所述限位头(611)能够在所述限位槽(621)内部运动。
4.根据权利要求3所述的真空蝶阀，其特征在于，所述限位头(611)的外部套设有轴承(612)，所述轴承(612)能够在所述限位槽(621)内部运动。
5.根据权利要求3所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动箱(4)内部设置有限位杆(41)，所述限位杆(41)沿所述第二方向设置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭卫强，张景红，杨亚冬，唐龙兵，
申请(专利权)人：昆山新莱洁净应用材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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