【技术实现步骤摘要】
本技术是有关于一种晶圆盒及其限位装置，特别是关于对储存的晶圆片作定位及固定的一种晶圆盒及其限位装置。
技术介绍
1、集成电路的制造方法和晶体管的制造方法一样，适合大量生产，这是因为采用所谓整批处理方式，能够将多个构成集成电路的基本芯片本身，同时形成于一块晶圆片之中的缘故，由一块晶圆片所获得的芯片的数目越多时，其经济性也就相对的提高。
2、现今的晶圆片制作技术已相当地成熟，使得工业上的应用相当普遍及便利；然就晶圆片的储存及收藏方面，便是晶圆片应用领域上极其重要的一个课题；晶圆片固定的目的，在确保晶圆片的收藏完整，不致有缺损、断裂的情形；收藏的目的乃在于确保晶圆片不受粉尘的污染。
3、在现有的技术中，晶圆片是置放入内盒体内部，而内盒体外缘切有数条沟槽，以供置设及取出晶圆片之用；内盒体容置于外盒体内，上端有一盖体，通过其密封的型式来保存、储藏晶圆片，此法虽相当简单，然就晶圆片置入后的定位及固定并未加以保护，使得晶圆片虽于保护盒内有防止外部尘埃污染的功效，但易于因振动、摇晃，造成内部晶圆片的破损，或因晶圆片间的摩擦而生成...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒的限位装置，用于安装在一晶圆盒中，所述晶圆盒包含一底座、一储存框架及一盖体，其特征在于：所述限位装置包括：
2.如权利要求1所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：每一挡板包含一本体部，所述本体部设置在对应的延伸臂上且位于所述活动空间中。
3.如权利要求2所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：每一挡板还包含一延伸部及一弯曲部，所述延伸部自所述本体部朝远离所述延伸臂的一方向延伸，所述弯曲部位于所述本体部及所述延伸部之间。
4.如权利要求1所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：每一活动板体还包含一翅片，所述翅片自所述转轴向外延伸，...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒的限位装置，用于安装在一晶圆盒中，所述晶圆盒包含一底座、一储存框架及一盖体，其特征在于：所述限位装置包括：
2.如权利要求1所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：每一挡板包含一本体部，所述本体部设置在对应的延伸臂上且位于所述活动空间中。
3.如权利要求2所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：每一挡板还包含一延伸部及一弯曲部，所述延伸部自所述本体部朝远离所述延伸臂的一方向延伸，所述弯曲部位于所述本体部及所述延伸部之间。
4.如权利要求1所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：每一活动板体还包含一翅片，所述翅片自所述转轴向外延伸，所述固定杆设置在所述翅片的一侧。
5.如权利要求4所述的晶圆盒的限位装置，其特征在于：所述翅片的一翅片宽度自一中心部朝二相反侧渐缩，而且所述固定杆位于所述中心部。
6.如权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：翁连波，
申请(专利权)人：耀连科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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