下载晶圆盒及其限位装置的技术资料

文档序号:43491805

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一种晶圆盒及其限位装置,所述晶圆盒包含一底座、一储存框架及一盖体,所述限位装置包括一基座、多个活动板体、至少二挡板及一抵靠组件;所述基座包含一横杆及二延伸臂,每一活动板体包含一转轴及一固定杆。本技术利用挡板限制活动板体的翻转路径,使得抵靠组...
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