【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种阀门装置，特别是关于一种避免沾附金属离子的阀门装置。
技术介绍
1、在半导体制程领域中，利用抗污染的存储装置进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净，同时也利用抗污染的半导体元件存储装置进行半导体元件的保存与运输，以使半导体元件保持洁净。存储装置在半导体制程中用于存放光罩，以利光罩在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与大气的接触，避免光罩被杂质污染而产生变化，而半导体元件存放装置在半导体制程中用于存放半导体元件，以利半导体元件在机台之间的搬运与传送，并隔绝半导体元件与大气的接触，避免半导体元件被杂质污染而产生变化。
2、具体来说，晶圆或光罩在运送过程或保存期间，都必须放置在一个高洁净度、气密性佳、低气体逸出与抗静电防护的载具内，如晶圆盒或光罩盒，有效防止晶圆或光罩受到污染，确保高晶圆或光罩的洁净度与高生产良率。为了提高前述载具的洁净度，常见的作法是通过气阀在密封式载具内充填干净的惰性气体，以减少有害气体的为害。
3、目前设置在所述载具上的进气阀或排气阀，通过弹簧的压伸复位作用，产生相对远离或紧贴...
【技术保护点】
1.一种阀门装置，配置为安装在一壳体上，其特征在于：所述阀门装置包括：一座体单元，包含一第一通气口、一第二通气口、一通道、一固定肋及一承抵环，所述通道连通在所述第一通气口及所述第二通气口之间，而且所述固定肋及所述承抵环相间隔地设置在所述通道中；
2.如权利要求1所述的阀门装置，其特征在于：所述复位组件的所述固定座具有一矩形本体及一插扣杆，所述插扣杆连接在所述矩形本体上，所述固定肋形成一固定孔，所述插扣杆配置为插扣在所述固定孔中。
3.如权利要求2所述的阀门装置，其特征在于：所述复位组件的所述固定座另具有一定位件，所述定位件连接在所述矩形本体上且...
【技术特征摘要】
1.一种阀门装置，配置为安装在一壳体上，其特征在于：所述阀门装置包括：一座体单元，包含一第一通气口、一第二通气口、一通道、一固定肋及一承抵环，所述通道连通在所述第一通气口及所述第二通气口之间，而且所述固定肋及所述承抵环相间隔地设置在所述通道中；
2.如权利要求1所述的阀门装置，其特征在于：所述复位组件的所述固定座具有一矩形本体及一插扣杆，所述插扣杆连接在所述矩形本体上，所述固定肋形成一固定孔，所述插扣杆配置为插扣在所述固定孔中。
3.如权利要求2所述的阀门装置，其特征在于：所述复位组件的所述固定座另具有一定位件，所述定位件连接在所述矩形本体上且与所述插扣杆相间隔，所述固定肋形成一定位槽，所述定位件配置为插入所述定位槽中。
4.如权利要求2所述的阀门装置，其特征在于：所述复位元件的所述固定座另具有一挡杆，所述挡杆设置在所述矩形本体上，而且所述挡杆与所述插扣杆相反向，所述挡杆配置为接触所述弹抵臂，而使得所述矩形本体停止靠近所述弹抵臂。
5.如权利要求1所述的阀门装置，其特征在于：所述复位组件的所述弹抵臂具有一弯曲延伸段及一推抵段，所述弯曲延伸段的一端连接在所述固定座上，而且所述弯曲延伸段与所述固定座之间形成一锐角，所述弯曲延伸段的另一端连接所述推抵段，而且所述弯曲延伸段与所述推抵段之间形成一钝角。
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【专利技术属性】
技术研发人员：翁连波，
申请(专利权)人：耀连科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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