【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆搬运技术，尤其涉及一种可变间距的晶圆搬运装置。
技术介绍
1、随着国内半导体行业的进步与发展，半导体设备制造商对晶圆搬运要求越来越复杂。因此衍生出多种规格的晶圆存储设备，如晶圆盒、晶舟等，由于工艺要求的差异，造成这些存储设备上下晶圆的间距各不相同，这导致了传统固定间距的传输设备无法适配这些规格不同的晶圆存储设备，因此导致晶圆传输中，时常需要传输设备以单片传输方式去取放晶圆，从而导致传输过程十分复杂且传输效率低下。
技术实现思路
1、为此，本技术的主要目的在于提供一种可变间距的晶圆搬运装置，以实现多层晶圆支撑平台间距可调功能，以适配不同规格的晶圆存储设备。
2、为了实现上述目的，根据本技术的第一个方面，提供了一种可变间距的晶圆搬运装置，其包括：剪叉架、臂架、直线电机模组、直线导轨，其中所述剪叉架包括：双叉臂、变距架，铰链件，其中变距架上设有变距条孔，所述双叉臂上设有引导件，所述变距架经变距条孔与引导件配接，以在双叉臂上层叠构成多层变距连杆，所述多层变距连杆成对设置，...
【技术保护点】
1.一种可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于包括：剪叉架、臂架、直线电机模组、直线导轨，其中所述剪叉架包括：双叉臂、变距架，铰链件，其中变距架上设有变距条孔，所述双叉臂上设有引导件，所述变距架经变距条孔与引导件配接，以在双叉臂上层叠构成多层变距连杆，所述多层变距连杆成对设置，经所述臂架设置在各层变距架上形成桥接，其中直线导轨与直线电机模组的移动方向平行，各双叉臂的连动端，分别与直线电机模组及直线导轨的数个移动端旋转连接。
2.根据权利要求1所述的可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于，所述剪叉架还包括：导向件，其上设有导向条孔，其中所述变距架端面上设有导向柱，所...
【技术特征摘要】
1.一种可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于包括：剪叉架、臂架、直线电机模组、直线导轨，其中所述剪叉架包括：双叉臂、变距架，铰链件，其中变距架上设有变距条孔，所述双叉臂上设有引导件，所述变距架经变距条孔与引导件配接，以在双叉臂上层叠构成多层变距连杆，所述多层变距连杆成对设置，经所述臂架设置在各层变距架上形成桥接，其中直线导轨与直线电机模组的移动方向平行，各双叉臂的连动端，分别与直线电机模组及直线导轨的数个移动端旋转连接。
2.根据权利要求1所述的可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于，所述剪叉架还包括：导向件，其上设有导向条孔，其中所述变距架端面上设有导向柱，所述导向件与多层变距连杆中的至少一层变距架的导向柱连接，其余层的变距架经导向柱与导向条孔配接，以受导向件引导。
3.根据权利要求1所述的可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于，所述臂架上设有凹台，所述凹台对应所承载晶圆的边缘形状。
4.根据权利要求1所述的可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于，所述直线电机模组包括：直线电机定子，及至少一对直线电机动子，其中各所述直线电机动子分别与双叉臂的两连动端旋转连接，以对应沿直线电机定子铺设方向移动。
5.根据权利要求1所述的可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于，还包括：同步件，其中所述同步件的两端，分别与直线电机模组及直线导轨的移动端连接。
6.一种可变间距的晶圆搬运装置，其特征在于包括：剪叉架、臂架、直线电机模...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱骏驰，陈雷，苗义，张文磊，王晨旭，刘恩龙，武一鸣，曲泉铀，张平，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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