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本技术提供了一种可变间距的晶圆搬运装置，其包括：剪叉架、臂架、直线电机模组、直线导轨，其中所述剪叉架包括：双叉臂、变距架，铰链件，其中变距架上设有变距条孔，所述双叉臂上设有引导件，所述变距架经变距条孔与引导件配接，以在双叉臂上层叠构成多层变...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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